小型、高性能(回転精度±1rpm)、多種多様な基板に対応 ラボ用スピンコーター

スピンコーター(塗布機) 製品案内

スピンコーター塗布機.com(ミカサ)の製品は、ACサーボモータを使用しているためブラシレスであることから、クリーンルームでのコンタミネーションに優れ、モーターの発熱を低減することで連続使用時の温度上昇による膜厚再現性への影響も受け難くなります。

     <最大対応サイズ>        <最大対応サイズ>    
4インチ
6インチ
8インチ
12インチ
MS-B100
MS-B150
MS-B200
MS-B300
  100×100mm
150×150mm
MS-B200(密閉型)
MS-B300(密閉型)
  試料台(標準)
試料台(特注)

MS-B300(密閉型)

密閉式大型角基板専用モデル
MS-B300(密閉型)

製品仕様

最大基板サイズ150×150mm基板
回転数(rpm)20~3,000
回転精度±1rpm(負荷時)
モーターACサーボモーター
密閉用蓋アルミ/デルリン
スピン室内径φ500mm
ステップ・パターン数100ステップ×10パターン
時間設定999.9sec
セーフティーインターロック真空  標準装備
蓋   標準装備
滴下装置オプション(1アームまで取付可)
使用真空圧-0.08~-0.1MPa
ユーティリティエアー:0.3MPa(上部シリンダー用)
電源AC200~240V 単相 5A
外形寸法(mm)570W×590H×650D
重量65kg

※仕様は予告なく変更する事がございます。

自動滴下装置取付例≪自動滴下装置取付例≫

膜厚分布データ

膜厚分布データ

↑Click Zoom

MS-B300密閉型 膜厚分布±0.7%

膜厚分布データ

↑Click Zoom

MS-B300オープン型 膜厚分布±3.5%

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技術資料 / FAQ

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