スピンコーター(塗布機) 製品案内
スピンコーター塗布機.com(ミカサ)の製品は、ACサーボモータを使用しているためブラシレスであることから、クリーンルームでのコンタミネーションに優れ、モーターの発熱を低減することで連続使用時の温度上昇による膜厚再現性への影響も受け難くなります。
<最大対応サイズ> | <最大対応サイズ> | |||||
4インチ 6インチ 8インチ 12インチ |
●MS-B100 ●MS-B150 ●MS-B200 ●MS-B300 |
100×100mm 150×150mm |
●MS-B200(密閉型) ●MS-B300(密閉型) |
●試料台(標準) ●試料台(特注) |
MS-B150
φ6インチウエハー・100×100mm基板対応モデル製品仕様
最大基板サイズ | φ6インチウエハー又は100×100mm基板 |
回転数(rpm) | 20~7,000 |
回転精度 | ±1rpm(負荷時) |
モーター | ACサーボモーター |
蓋 | アクリル |
スピン室内径 | φ290mm |
ステップ・パターン数 | 100ステップ×10パターン |
時間設定 | 999.9sec |
セーフティーインターロック | 真空 標準装備 蓋 オプション |
滴下装置 | オプション |
使用真空圧 | -0.08~-0.1MPa |
電源 | AC100~240V 5A |
外形寸法(mm) | 352W×303H×432D |
重量 | 16kg |
※仕様は予告なく変更する事がございます。
対応オプション
<特注の種類> | <対応機種> | |
---|---|---|
・自動滴下装置(エアー駆動式) | 1アーム | ○ |
2アーム | ○ | |
・自動滴下装置(スタンド式) | ○ | |
・エッジリンス | ○ | |
・バックリンス | ○ | |
・排気ダクト | ○ | |
・廃液ドレイン | ○ | |
・フタリミットスイッチ | ○ | |
・テフロンコート加工 | ○ | |
・モーター廃熱ファンの追加 | ○ | |
・非常停止スイッチ | ○ | |
・ハイパワーモーター |
技術資料 / FAQ
基板
試料台(チャックホルダー)
- 標準的な試料台(チャックホルダー)などはありますか?納期はどれくらいですか?
- スピンコーターで使用可能な角(□)や丸(Φ)以外の形状の基板に対応できる試料台(チャックホルダー)には、どのような種類がありますか?
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)で、基板の固定方法にはどのような方式がありますか。
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質にはどのような種類がありますか?
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)は全ての機種で互換性がありますか。
- 試料台(チャックホルダー)の材質の違いによるメリットとデメリットは何ですか?
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質の選び方
オプション
修理
- スピンコーターが回転動作しなくなりました。電源はONになりプログラムを入力することも可能です。ただスタートボタンを押しても回転動作が始まらず、時間のカウントも始まりません。そして数秒後、終了の音が鳴ります。
- スピンコーターの電源をONにしても初期動作(1回転)せず、ビービーとエラー音が鳴って動作させることができません。
- 真空ポンプをONにするとスピンコーター本体の電源に関わらず真空が吸った状態になってしまいます。
- スピンコーターの回転などの表示部に【Oerr】とエラーメッセージが表示されます。どのようなエラーでしょうか?
- スピンコーターの回転などの表示部に【Serr】とエラーメッセージが表示されます。どのようなエラーでしょうか?
- スピンコート中に基板が頻繁に飛んでしまうのですが、どうしたら良いでしょうか?