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フォトリソ現像エッチング装置.com コンセプト

フォトリソ現像エッチング装置.comは、1980年代以降、スイングノズル式スプレー現像装置・エッチング装置を開発、製品化しました。標準機をベースに様々なオプションを付属させることでお客様の希望に沿える装置提供を目指しております。お客様一人ひとりに向き合い、つねに求められるよきパートナーとして社会に貢献してまいります。

特徴

01

1980年代に開発をスタートし、製品化。

特徴

02

フォトリソ工程の塗布~露光~現像・エッチング、検査まで、ラボ用半導体製造装置をワンストップで提供。

特徴

03

標準機をベースに様々なオプションの取り付けが可能です。

製品案内

フォトリソ現像エッチング装置.comの製品は、研究・開発、少量生産向けに小型化した卓上型の装置です。拡張性に優れ必要なオプションを必要なだけ取り付け使用することが可能です。

フォトリソ用現像装置

  • AD-1200

    特徴
    • スイングノズル式スプレー(ウェット)エッチング装置
    • 耐薬品を考慮し接液部にPVC(塩ビ)を使用
    • 液晶タッチパネルにてプログラム簡単入力
    • 最大3薬液まで拡張可能
    • エッチング、リンス、振り切りを連続処理
    • 薬液圧送ポンプ内蔵
    仕様
    チャンバー
    PVC(塩ビ)製
    基板サイズ
    φ1インチ~φ6インチ(150×150mm)
    薬液圧送
    内蔵ポンプ使用
    薬液吐出
    スプレー吐出(スイングノズル式)
  • AD-3000

    特徴
    • 大型基板対応ツインスイングノズルスプレー式
    • 耐薬品を考慮し接液部にSUSを使用
    • 液晶タッチパネルにてプログラム簡単入力
    • 薬液2系統又は3系統増設可能
    • 薬液、リンス、振り切りを連続処理
    • 薬液供給は加圧タンク圧送式
    仕様
    チャンバー
    ステンレス製
    基板サイズ
    φ1インチ~φ12インチ(220×220mm)
    薬液圧送
    加圧タンク圧送式
    薬液吐出
    スプレー吐出(スイングノズル式)

フォトリソ用小型エッチング装置 ED-1200

  • ED-1200

    特徴
    • スイングノズル式スプレー(ウェット)エッチング装置
    • 耐薬品を考慮し接液部にPVC(塩ビ)を使用
    • 液晶タッチパネルにてプログラム簡単入力
    • 最大3薬液まで拡張可能
    • エッチング、リンス、振り切りを連続処理
    • 薬液圧送ポンプ内蔵
    仕様
    チャンバー
    PVC(塩ビ)製
    基板サイズ
    φ1インチ~φ6インチ(150×150mm)
    薬液圧送
    内蔵ポンプ使用
    薬液吐出
    スプレー吐出(スイングノズル式)
  • ED-3000

    特徴
    • 大型基板対応ツインスイングノズルスプレー式(ウェット)
    • 耐薬品を考慮し接液部にPVC(塩ビ)を使用
    • 液晶タッチパネルにてプログラム簡単入力
    • 薬液2系統又は3系統増設可能
    • エッチング、リンス、振り切りを連続処理
    • 薬液供給は加圧タンク圧送式
    仕様
    チャンバー
    ステンレス製
    基板サイズ
    φ1インチ~φ12インチ(220×220mm)
    薬液圧送
    加圧タンク圧送式
    薬液吐出
    スプレー吐出(スイングノズル式)
主なエッチング対象物及びエッチング液 一覧
対象物 使用エッチング液
銅(Cu)塩化第二鉄
ガラス・硝子フッ酸
フッ硝酸 等
アルミ(Al)リン酸(燐酸)
シリコン(Si)フッ酸
チタン(Ti)フッ酸
金(Au)王水
クローム(Cr)硝酸
ITO 

現像装置専用ドラフトチャンバー

  • AD-1200・AD-3000専用

薬液について

  • 現像液

  • エッチング液