納入実績7,000台以上 ~ラボ用スピンコーターのトップメーカー

スピンコート(塗布)・成膜の困りごと・要望解決

スピンコーター(塗布機) 案内

スピンコーター塗布機.com(ミカサ)の製品は、ACサーボモータを使用しているためブラシレスであることから、クリーンルームでのコンタミネーションに優れ、モーターの発熱を低減することで連続使用時の温度上昇による膜厚再現性への影響も受け難くなります。

  • MS-B100MS-B100
  • MS-B150MS-A150
  • MS-B200MS-B200
  • MS-B300MS-B300
  • MS-B200密閉型MS-B200密閉型
  • MS-B300密閉型MS-B300密閉型

測定・検査装置(非接触・段差)

膜厚計(非接触・反射分光・光学式)

スピンコーター塗布機.comでは、薄膜測定装置も扱っております。薄膜測定装置は、反射率分光法とカーブフィット法を組み合わせた非接触光学式薄膜測定装置です。薄膜の表面と基板との界面からの反射を解析することにより、薄膜の測定が数秒で簡単に行えます。

F20

F20

F40

F40

F50

F50

段差計・プロファイラー・表面粗さ測定

スピンコーター塗布機.comでは、段差測定装置・プロファイラー・表面粗さ測定装置も扱っております。段差測定装置は、段差及び二次元表面粗さ等を自動的に測定しデータ解析処理を行う多目的、多機能な微細形状測定機です。

ET200

ET200

ET4000A

ET4000A

試料台

スピンコーター塗布機.comでは、スピンコーター塗布機の試料台を用途に応じて標準品をご用意しております。
またその他に関しましては、特注対応をしておりますのでお気軽にお問合せください。

試料台(標準) 試料台(特注)

MS-B100用
MS-B150用

 

最新情報

2015.09.18 スピンコーターのサポート情報を更新しました。詳細はこちら
2015.08.18 スピンコーターの下取りを始めました。詳細はこちら
2015.07.21 「SEMICON TAIWAN2015」に出展します。ブースNo.2435
2015.07.13 Photolithography.com版の英語サイトをオープンしました。
2015.06.01 スピンコーターMS-Bシリーズ6月新発売。

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