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測定・検査装置(膜厚)

スピンコーター塗布機.comでは、非接触膜厚測定機・膜厚装置、段差測定装置も扱っております。非接触膜厚測定機・膜厚装置は、反射率分光法とカーブフィット法を組み合わせた非接触光学式薄膜測定装置です。薄膜の表面と基板との界面からの反射を解析することにより、薄膜の測定が数秒で簡単に行えます。段差測定装置は、段差及び二次元表面粗さ等を自動的に測定しデータ解析処理を行う多目的、多機能な微細形状測定機です。

非接触膜厚測定機 F20
F40
F50
  段差計 ET4000A
ET200

膜厚測定機(非接触・反射分光・光学式)・膜厚測定機

スピンコーター塗布機.comでは、非接触膜厚測定機・膜厚装置を扱っております。非接触膜厚測定機・膜厚装置は、反射率分光法とカーブフィット法を組み合わせた非接触光学式非接触膜厚測定機・膜厚装置です。薄膜の表面と基板との界面からの反射を解析することにより、薄膜の測定が数秒で簡単に行えます。

●F20 F-20 □シングルスポット測定
□コンパクト・低価格
□研究・開発用途に最適
●F40-UV F-40

薄膜用途 (UV仕様 顕微鏡付)

●F40 F-40

汎用タイプ
(顕微鏡は別途必要となります。)

□顕微鏡式
□測定箇所をPCで確認 
□膜厚測定スポットは、
 φ1μmから100μmまで対応
□パターン付ウエハなどの
 多様な膜解析に最適
□研究・開発用途に最適
●F50 F-50 □自動マッピング測定
□膜厚分布・3D表示ソフト付
□φ3',4',6',8',12'ウエハ及び角基板に対応
□開発・生産技術・品質保証での用途に最適

段差計・プロファイラー・表面粗さ測定

スピンコーター塗布機.comでは、段差測定装置・プロファイラー・表面粗さ測定装置も扱っております。段差測定装置は、段差及び二次元表面粗さ等を自動的に測定しデータ解析処理を行う多目的、多機能な微細形状測定機です。

●ET200 ET200

コストパフォーマンスが高い二次元表面粗さ解析及び段差測定装置

□形状・うねり測定のX軸真直精度保証
(0.2μm/100mm以下)
□軟質試料に対応した低触圧測定が可能
□直動式検出器を採用により、
 円弧歪とガタを解消し高精度段差測定を実現

●ET4000A ET4000A

全自動三次元微細形状測定に対応した表面粗さ解析及び段差測定装置

□形状・うねり測定のX軸真直精度保証
(0.1μm/100mm以下)
□軟質試料に対応した低触圧測定が可能
□直動式検出器を採用により、
 円弧歪とガタを解消し高精度段差測定を実現

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