小型、高性能(回転精度±1rpm)、多種多様な基板に対応 ラボ用スピンコーター

測定・検査装置(膜厚)

スピンコーター塗布機.comでは、非接触膜厚測定機・膜厚装置、段差測定装置も扱っております。非接触膜厚測定機・膜厚装置は、反射率分光法とカーブフィット法を組み合わせた非接触光学式薄膜測定装置です。薄膜の表面と基板との界面からの反射を解析することにより、薄膜の測定が数秒で簡単に行えます。段差測定装置は、段差及び二次元表面粗さ等を自動的に測定しデータ解析処理を行う多目的、多機能な微細形状測定機です。

非接触膜厚測定機OPTM series
ファイバー式膜厚モニタ
 段差計ET4000A
ET200

膜厚測定機(非接触・反射分光・光学式)・膜厚測定機

スピンコーター塗布機.comでは、非接触膜厚測定機・膜厚装置を扱っております。非接触膜厚測定機・膜厚装置は、反射率分光法とカーブフィット法を組み合わせた非接触光学式非接触膜厚測定機・膜厚装置です。薄膜の表面と基板との界面からの反射を解析することにより、薄膜の測定が数秒で簡単に行えます。

●OPTM seriesOPTM series □非破壊・非接触で面内マッピング測定が可能
□短時間で測定(1秒以内/1ポイント)
□顕微分光で高精度な絶対反射率測定
 (多層膜厚、光学定数)
□顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系
 (紫外~近赤外)
□エリアセンサーによる安全機構
□初めての方でも操作が簡単
 (光学定数解析が可能な楽々解析ウィザード)
□測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能搭載
□3μmでの微小領域も測定可能(オプション)
□300mmステージ対応可能(オプション)
□各種カスタマイズに対応
●ファイバー式膜厚モニタファイバー式膜厚モニタ □膜厚測定再現性0.1nm以下(3σ)
□多層膜同時測定9層対応
□膜質解析機能
 ◇効媒質近似(EMA)法による混合層の混合率算出、結晶性判定
 ◇光学定数解析
目的によって選べる光源
白色LED、タングステンハロゲン、重水素・ハロゲン
短時間で測定(1秒以内/1ポイント)
膜厚終点(エンドポイント)/検出ソフト標準
自動マッピング測定(オプション)/300mmウエハまで対応

段差計・プロファイラー・表面粗さ測定

スピンコーター塗布機.comでは、段差測定装置・プロファイラー・表面粗さ測定装置も扱っております。段差測定装置は、段差及び二次元表面粗さ等を自動的に測定しデータ解析処理を行う多目的、多機能な微細形状測定機です。

●ET200ET200

コストパフォーマンスが高い二次元表面粗さ解析及び段差測定装置

□形状・うねり測定のX軸真直精度保証
(0.2μm/100mm以下)
□軟質試料に対応した低触圧測定が可能
□直動式検出器を採用により、
 円弧歪とガタを解消し高精度段差測定を実現

●ET4000AET4000A

全自動三次元微細形状測定に対応した表面粗さ解析及び段差測定装置

□形状・うねり測定のX軸真直精度保証
(0.1μm/100mm以下)
□軟質試料に対応した低触圧測定が可能
□直動式検出器を採用により、
 円弧歪とガタを解消し高精度段差測定を実現

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