フォトリソLab(スピンコーター)

スピンコーター塗布機.comの「フォトリソLab」では、スピンコート(塗布)、露光などの各種検証データを保有しております。またイエロールームにてワークテストなどを行い、お客様の実験のサポートに力を入れております。

「フォトリソLab」では、スピンコート(塗布)や露光などの実験のサポート、困りごとに親身になってお応えします!
技術相談   ワークテスト及び場所の提供   テスト機の貸出
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技術相談   スピンコーター塗布機.comの「フォトリソLab」では、さまざまな塗布材の検証データを保有し、実験のサポートが出来る体制とノウハウがございます。

(塗布)●さまざまな塗布材に対する検証データ(膜厚分布)を保有

    ●各種レシピを保有している
     ・~100μまでの厚膜を成膜可能
     ・膜厚均一性     など

<膜厚分布データ>
成膜装置 MS-B200
膜厚測定装置 FILMETRICS製 F50
レジスト OFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズ φ8インチシリコンウエハー
ターゲット膜厚 1μm
膜厚分布 ±0.5%
  <膜厚分布データ>
成膜装置 MS-B200密閉型
膜厚測定装置 FILMETRICS製 F50
レジスト OFPR-800LB
基板サイズ 65×65mm
膜厚分布 ±0.7%
膜厚分布データ   膜厚分布データ

(露光)●実証データ(レジストパターン)を多数保有

SEM画像(薄膜)
露光装置 MA-20
線  幅 1μm L&S
レジスト OFPR-800LB
(東京応化製)
膜  厚 1μm
  SEM画像(厚膜)
露光装置 MA-20
線  幅 8μm(角ホール)
レジスト e-PR THICK
(e-chem japan製)
膜  厚 6.3μm
  SU-8
露光装置 MA-20
線  幅 7μm(円柱)
レジスト SU-8
(日本化薬製)
膜  厚 30μm
ワークテスト及び場所の提供   スピンコーター塗布機.comの「フォトリソLab」では、ラボルームにてワークテストやLabルームの場所の提供が可能です。

◆ラボルームにて、テストワーク可能。エンジニアが操作及び内容等のサポートも致します。(無料)

 

・既存のお客様、装置検討の方   装置の操作説明
・エンジニアが操作及び内容等のサポートもします。
・秘密保持の為にお客様だけで使用していただくことも可能です。

ラボルーム
 

<貸し出し時間>

期間:半日~1日程度
9時~17時30分    ※その他ご相談ください

◆ワークテストを、弊社エンジニアが代行可能。サンプル、検査報告書等の提出も必要に応じて致します。(無料)

    <対応機種> <成果物>
  ・スピンコーター(塗布機) 全機種 サンプル提示
  ・ベーク・熱処理 ダイレクトホットプレート サンプル提示
  ・露光装置 MA-20、MA-60F サンプル提示
  ・現像 AD-1200 サンプル提示
  ・検査・測定 膜厚測定 F50 検査報告書提出
    線幅測定装置 MIM-L  
 

※ワークテスト期間    (ワーク到着後) 1日~1週間
※テスト内容や枚数によって期間が変動します
※内容によってはお受けできない場合もございますので、事前にご相談ください。

テスト機の貸出   スピンコーター塗布機.comの「フォトリソLab」では、スピンコーター(塗布機)のテスト機の貸し出しを行っております。スピンコーター(塗布機)の全機種をご用意しております。

◆スピンコーター(塗布機)全機種のテスト機を保有しております。 約1週間の貸出が可能です。

  ●MS-A100
●MS-A150
●MS-A200
●MS-A300
●MS-A200(密閉型)
●MS-A300(密閉型)
<最大対応サイズ>
4インチ
6インチ
8インチ
12インチ
100×100mm
150×150mm
 

貸し出し機種
貸出期間
貸出条件

: スピンコーター全機種
: 目安1週間
: 購入検討
お問い合わせはお気軽に!フォトリソグラフィ.com/スピンコーター塗布機.comを、ご覧頂きまして誠にありがとうございます。スピンコーター(塗布機)等のことなら「スピンコーター塗布機.com」にお任せ下さい
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