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製品案内

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター(塗布機)からマスクアライナー(露光装置)、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅測定の各種測定機も取り扱っております。

レジスト塗布 images 露光 images 現像 images エッチング
  膜厚 測定検査 線幅 測定検査

検査・測定機

フォトリソグラフィ.comでは、非接触膜厚測定機・膜厚装置、段差測定装置も扱っております。非接触膜厚測定機・膜厚装置は、反射率分光法とカーブフィット法を組み合わせた非接触光学式薄膜測定装置です。薄膜の表面と基板との界面からの反射を解析することにより、薄膜の測定が数秒で簡単に行えます。段差測定装置は、段差及び二次元表面粗さ等を自動的に測定しデータ解析処理を行う多目的、多機能な微細形状測定機です。

膜厚測定機(非接触・反射分光・光学式)・膜厚測定機

フォトリソグラフィ.comでは、非接触膜厚測定機・膜厚装置を扱っております。非接触膜厚測定機・膜厚装置は、反射率分光法とカーブフィット法を組み合わせた非接触光学式非接触膜厚測定機・膜厚装置です。薄膜の表面と基板との界面からの反射を解析することにより、薄膜の測定が数秒で簡単に行えます。

非接触膜厚測定機 F20 非接触膜厚測定機 F20
 
非接触膜厚測定機 F40 非接触膜厚測定機 F40
 
非接触膜厚測定機 F50 非接触膜厚測定機 F50

段差計(段差測定機)・プロファイラー・表面粗さ測定機

フォトリソグラフィ.comでは、段差計・プロファイラー・表面粗さ測定機も扱っております。段差計(段差測定器)は、段差及び二次元表面粗さ等を自動的に測定しデータ解析処理を行う多目的、多機能な微細形状測定機です。

段差計 ET200 段差計 ET200
 
段差計 ET4000A 段差計 ET4000A
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