小型、高性能(回転精度±1rpm)、多種多様な基板に対応 ラボ用スピンコーター
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スピンコーター オプション/特注仕様

スピンコート(塗布機)

ミカサのスピンコーター(塗布機)の操作性を向上されるための各種オプションをご用意しております。

<オプションの種類> <対応機種>
B100 B150 B200 B300 B200
密閉型
B300
密閉型
・自動滴下装置(エアー駆動式) 1アーム ― ○ ○ ○ ― ○
2アーム ― ○ ○ ○ ― ―
・自動滴下装置(スタンド式) ― ― ○ ○ ― ― ―
・エッジリンス ― ― ○ ○ ○ ― ―
・バックリンス ― ― ○ ○ ○ ― ―
・排気ダクト ― ○ ○ ○ ○ ○ ○
・廃液ドレイン ― ○ ○ ○ ○ ○ ○
・蓋リミットスイッチ ― ○ ○ 標準装備 標準装備 標準装備 標準装備
・テフロンコート加工 ― ○ ○ ○ ○ ○ ○
・モーター廃熱ファンの追加 ― ○ ○ ○ ○ ○ ○
・ハイパワー仕様 (重量物/大型基板・密閉式等) ― ― ― ― ○ ― ○

※その他、特注仕様もご相談ください。

FAQ

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