コンセプト

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特徴11960年代から各種ラボ機開発。納入累積7500台以上の実績を誇るトップメーカー

◆納入実績

フォトリソグラフィ.com(ミカサ)では、ラボ用スピンコーター(塗布機)、マスクアライナー(露光機)のトップメーカーとして、納入実績7500台以上あります。

◆海外納入実績

中国、台湾、韓国、シンガポール、マレーシア、インド、タイ、アメリカ、オーストラリア

◆歴代のスピンコーター(塗布機)

歴代のスピンコーター(塗布機) 年代

特徴2さまざまな塗布材やサンプル形状対する検証データ保有

◆代表的な塗布材(レジスト)での膜厚分布検証データを保有しています
◆~100μmまでの厚膜を成膜可能

<膜厚分布データ 例1>
成膜装置 MS-B200
膜厚測定装置 FILMETRICS製 F50
レジスト OFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズ φ8インチシリコンウエハー
ターゲット膜厚 1μm
膜厚分布 ±0.5%
  <膜厚分布データ 例2>
成膜装置 MS-B200密閉型
膜厚測定装置 FILMETRICS製 F50
レジスト OFPR-800LB
基板サイズ 65×65mm
膜厚分布 ±0.7%
膜厚分布データ   膜厚分布データ

特徴3スピンコーター(本体)と標準試料台を常に在庫を保有し、即納対応が可能

◆スピンコーターは、在庫機を常に保有しているので、即納対応が可能です。

◆ユーザーのニーズに応じた試料台を提供いたします。

標準試料台 標準試料台は、在庫を保有しており即日発送に対応しています。
対象機種別に。材質や吸着形状などを揃えております。
標準試料台
●対応基板サイズ : 10mm
●試料台材質   : アルミ
特注試料台

使用目的に合わせて、試料台の特注製作を致します。
(特注試料台製作工期は、図面承認後 約3週間になります。)
特注試料台として、サイズ、材質、吸着形状など用途に応じて特注対応致します。

(サイズ) (材質) アルミ、デルリン、テフロン etc
極小(5mm)  
(吸着形状) 溝、小穴、他
   
(特注試料台 例) フィルム用
レンズ用
ディスク用
スライドガラス用
厚み(2mm以上)のある基板用
研磨シリコン用(0.1mm以下)
フィルム用図面   薄い基板用(小穴吸着タイプ)
フィルム用図面   薄い基板用(小穴吸着タイプ)

特徴4操作性を向上させる、各種オプションが可能

スピンコーター塗布機.com(ミカサ)のスピンコーター(塗布機)の操作性を向上されるための各種オプションをご用意しております。

<特注の種類> <対応機種>
B100 B150 B200 B300
・自動滴下装置(エアー駆動式) 1アーム  
2アーム  
・自動滴下装置(スタンド式)      
・エッジリンス    
・バックリンス    
・排気ダクト  
・廃液ドレイン  
・フタリミットスイッチ  
・テフロンコート加工  
・モーター廃熱ファンの追加  
・非常停止スイッチ  
・ハイパワーモーター(基板重量●g以上)        

特徴5当社開発のスピンコータ専用サーボモータ・ドライバにより、膜厚コントロールがし易い

スピンコーター塗布機.com(ミカサ)のスピンコーター(塗布機)は、
  1.回転精度が±1rpm
  2.スロープ機能で、立ち上げ、立ち下げ時間をコントロール
  3.低粘度の塗布材(レジスト)でも、低回転(20rpm)可能なため厚く塗れる
  4.排気ダクト(特注)を付けることによって、カップ内雰囲気の乾燥性を上げる
    ことなど、膜厚コントロールがしやすい装置になっています。

特徴6ラボにてワークテスト及びテスト機貸出で導入支援

◆スピンコーター(塗布機)全機種のテスト機を保有しております。 約1週間の貸出が可能です。

  ●MS-A100
●MS-A150
●MS-A200
●MS-A300
●MS-A200(密閉型)
●MS-A300(密閉型)
<最大対応サイズ>
4インチ
6インチ
8インチ
12インチ
100×100mm
150×150mm
 

貸し出し機種
貸出期間
貸出条件

: スピンコーター全機種 ※テスト機は、旧モデルになります。
: 目安1週間
: 購入検討

◆ラボルームにて、テストワーク可能。エンジニアが操作及び内容等のサポートも致します。(無料)

 

・既存のお客様、装置検討の方   装置の操作説明
・エンジニアが操作及び内容等のサポートもします。
・秘密保持の為にお客様だけで使用していただくことも可能です。

ラボルーム
 

<貸し出し時間>

期間:半日~1日程度
9時~17時30分    ※その他ご相談ください

◆ワークテストを、弊社エンジニアが代行可能。サンプル、検査報告書等の提出も必要に応じて致します。(無料)

    <対応機種> <成果物>
  ・スピンコーター(塗布機) 全機種 サンプル提示
  ・ベーク・熱処理 ダイレクトホットプレート サンプル提示
  ・露光装置 MA-20、MA-60F サンプル提示
  ・現像 AD-1200 サンプル提示
  ・検査・測定 膜厚測定 F50 検査報告書提出
 

※ワークテスト期間    (ワーク到着後) 1日~1週間
※テスト内容や枚数によって期間が変動します
※内容によってはお受けできない場合もございますので、事前にご相談ください。

特徴7充実した修理・メンテナンス体制で、国内外をサポート。

◆国内外のサービスネットワーク
 ・国内2拠点 : 東京:〒105-0011 東京都港区芝公園2丁目8番1号  TEL(03)3433-8216
          大阪:〒533-0033 大阪府大阪市東淀川区東中島1丁目13番35号  TEL(06)6325-5661

 ・海外2拠点 : 中国(上海):牛尾貿易(上海)有限公司 (http://www.ushio.com.cn/)
          台湾(台北):川川企業有限公司 (網址: www.kawakawa.com.tw)

◆修理メンテナンス人員
 ・国内8名
 ・海外4名

 

修理時には、代替機をお貸しいたします。
 ・対応機種(国内) : 全機種
 ・対応機種(台湾) : MS-B150
 ・対応機種(中国) : MS-A200

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