スピンコーター設置に必要なユーティリティー（設備）は何が必要ですか？ | スピンコーターのフォトリソグラフィ.com
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本体・真空ポンプ共に100V及び機種により200Vが必要です。またオプションの滴下装置を取り付けた場合はドライエアーとN2(窒素）が必要です。
タグ: スピンコーター, スピンコート
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