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技術資料 / FAQ

修理

真空ポンプをONにするとスピンコーター本体の電源に関わらず真空が吸った状態になってしまいます。

電磁弁内のOリングが劣化しているかOリング周りに付着物があり弁が閉じられない状態にある可能性がございます。

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