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技術資料　／　FAQ

製品： スピンコーター

スピンコーターの回転などの表示部に【Serr】とエラーメッセージが表示されます。どのようなエラーでしょうか？

【Serr】は、システムエラーです。装置上、正常な動作が出来ない何かしらの事象が発生しております。まずはお問い合わせ下さい。
【Serr表示画面】

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