製品案内

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター(塗布機)からマスクアライナー(露光装置)、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅測定の各種測定機も取り扱っております。

レジスト塗布 images 露光 images 現像 images エッチング
  膜厚 測定検査 線幅 測定検査

スピンコーター(塗布機)

≪スピンコーターMS-Bシリーズ比較表≫

機種 MS-B100 MS-B150 MS-B200
最大基板サイズ φ4インチウエハーまたは75×75mm基板 φ6インチウエハーまたは100×100mm基板 φ8インチウエハーまたは150×150mm基板
回転数(rpm) 20~8,000 20~7,000 20~5,000
アクリル アクリル ポリカーボネート
スピン室内径 φ220mm φ290mm φ360mm
セーフティーインターロック 真空 標準装備 真空 標準装備 真空 標準装備
オプション オプション 標準装備
滴下装置 取付不可 オプション オプション
電源 AC100~240V 5A AC100~240V 5A AC100~240V 5A
外形寸法(mm) 259W×246H×330D 352W×303H×432D 500W×335H×583D
重量 10kg 16kg 28kg
機種 MS-B300 MS-B200密閉型 MS-B300密閉型
最大基板サイズ φ12インチウエハーまたは200×200mm基板 100×100mm基板 150×150mm基板
回転数(rpm) 20~5,000 20~3,000 20~3,000
ポリカーボネート アルミ/デルリン アルミ/デルリン
スピン室内径 φ500mm φ360mm φ500mm
セーフティーインターロック 真空 標準装備 真空 標準装備 真空 標準装備
標準装備 標準装備 標準装備
滴下装置 オプション 取付不可 オプション
電源 AC200~240V 単層 5A AC100~240V 5A AC200~240V 単層 5A
外形寸法(mm) 545W×432H×654D 540W×460H×630D 570W×590H×650D
重量 55kg 44kg 65kg

スピンコーター MS-B100[φ4インチウエハー・75×75mm基板対応モデル]

最大基板サイズ φ4インチウエハー
又は75×75mm基板
回転数(rpm) 20~8,000
回転精度 ±1rpm(負荷時)

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スピンコーター MS-B100 膜厚画像  

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スピンコーター MS-B100

スピンコーター MS-B150[φ6インチウエハー・100×100mm基板対応モデル]

最大基板サイズ φ6インチウエハー
又は100×100mm基板
回転数(rpm) 20~7,000
回転精度 ±1rpm(負荷時)

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スピンコーター MS-B150

スピンコーター MS-B200[φ8インチウエハー・150×150mm基板対応モデル]

最大基板サイズ φ8インチウエハー
又は150×150mm基板
回転数(rpm) 20~5,000
回転精度 ±1rpm(負荷時)

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スピンコーター MS-B200

スピンコーター MS-B300[φ12インチウエハー・200×200mm基板対応モデル]

最大基板サイズ MAXφ12インチ
又は200×200mm基板
回転数(rpm) 20~5,000
回転精度 ±1rpm(負荷時)

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スピンコーター MS-B300

スピンコーター MS-B200密閉型[密閉式小型角基板専用モデル]

最大基板サイズ 100×100mm基板
回転数(rpm) 20~3,000
回転精度 ±1rpm(負荷時)

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スピンコーター MS-B200密閉型 膜厚画像  

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スピンコーター MS-B200密閉型

スピンコーター MS-B300密閉型[密閉式大型角基板専用モデル]

最大基板サイズ 150×150mm基板
回転数(rpm) 20~3,000
回転精度 ±1rpm(負荷時)

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スピンコーター MS-B300密閉型

試料台

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター塗布機の試料台を用途に応じて標準品をご用意しております。
またその他に関しましては、特注対応をしておりますのでお気軽にお問合せください。

●試料台(標準) ●試料台(特注)

MS-B100用
MS-B150用

 
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