フォトリソ工程の塗布~露光~現像・エッチング、検査まで、ラボ用半導体製造装置をワンストップで提供

製品案内

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター(塗布機)からマスクアライナー(露光装置)、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。

レジスト塗布images露光images現像imagesエッチング
 膜厚 測定検査線幅・形状測定検査

スピンコーター(塗布機)

≪スピンコーターMS-Bシリーズ比較表≫

機種最大基板サイズ回転数
(rpm)
滴下装置電源外形寸法(mm)
<W×H×D>
<ウエハー><基板(mm)>
MS-B100φ4インチ75×7520~8,000取付不可AC100~240V 5A259×246×330
MS-B150φ6インチ100×10020~7,000オプション352×303×432
MS-B200φ8インチ150×15020~5,000500×335×583
MS-B300φ12インチ200×20020~5,000AC200~240V 単層 5A545×432×654
MS-B200密閉型100×10020~3,000取付不可AC100~240V 5A540×460×630
MS-B300密閉型150×15020~3,000オプションAC200~240V 単層 5A570×590×650

スピンコーター MS-B100[φ4インチウエハー・75×75mm基板対応モデル]

最大基板サイズφ4インチウエハー
又は75×75mm基板
回転数(rpm)20~8,000
回転精度±1rpm(負荷時)

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スピンコーター MS-B100 膜厚画像 

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スピンコーター MS-B100

スピンコーター MS-B150[φ6インチウエハー・100×100mm基板対応モデル]

最大基板サイズφ6インチウエハー
又は100×100mm基板
回転数(rpm)20~7,000
回転精度±1rpm(負荷時)

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スピンコーター MS-B150

スピンコーター MS-B200[φ8インチウエハー・150×150mm基板対応モデル]

最大基板サイズφ8インチウエハー
又は150×150mm基板
回転数(rpm)20~5,000
回転精度±1rpm(負荷時)

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スピンコーター MS-B200

スピンコーター MS-B300[φ12インチウエハー・200×200mm基板対応モデル]

最大基板サイズMAXφ12インチ
又は200×200mm基板
回転数(rpm)20~5,000
回転精度±1rpm(負荷時)

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スピンコーター MS-B300

スピンコーター MS-B200密閉型[密閉式小型角基板専用モデル]

最大基板サイズ100×100mm基板
回転数(rpm)20~3,000
回転精度±1rpm(負荷時)

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スピンコーター MS-B200密閉型

スピンコーター MS-B300密閉型[密閉式大型角基板専用モデル]

最大基板サイズ150×150mm基板
回転数(rpm)20~3,000
回転精度±1rpm(負荷時)

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スピンコーター MS-B300密閉型

試料台

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター塗布機の試料台を用途に応じて標準品をご用意しております。
またその他に関しましては、特注対応をしておりますのでお気軽にお問合せください。

●試料台(標準)●試料台(特注)

MS-B100用
MS-B150用

 
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