フォトリソ工程の塗布~露光~現像・エッチング、検査まで、ラボ用半導体製造装置をワンストップで提供

製品案内

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター(塗布機)からマスクアライナー(露光装置)、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅測定の各種測定機も取り扱っております。

レジスト塗布images露光images現像imagesエッチング
 膜厚 測定検査線幅 測定検査

スピンコーター(塗布機)

≪スピンコーターMS-Bシリーズ比較表≫

機種MS-B100MS-B150MS-B200
最大基板サイズφ4インチウエハーまたは75×75mm基板φ6インチウエハーまたは100×100mm基板φ8インチウエハーまたは150×150mm基板
回転数(rpm)20~8,00020~7,00020~5,000
アクリルアクリルポリカーボネート
スピン室内径φ220mmφ290mmφ360mm
セーフティーインターロック真空標準装備真空標準装備真空標準装備
オプションオプション標準装備
滴下装置取付不可オプションオプション
電源AC100~240V 5AAC100~240V 5AAC100~240V 5A
外形寸法(mm)259W×246H×330D352W×303H×432D500W×335H×583D
重量10kg16kg28kg
機種MS-B300MS-B200密閉型MS-B300密閉型
最大基板サイズφ12インチウエハーまたは200×200mm基板100×100mm基板150×150mm基板
回転数(rpm)20~5,00020~3,00020~3,000
ポリカーボネートアルミ/デルリンアルミ/デルリン
スピン室内径φ500mmφ360mmφ500mm
セーフティーインターロック真空標準装備真空標準装備真空標準装備
標準装備標準装備標準装備
滴下装置オプション取付不可オプション
電源AC200~240V 単層 5AAC100~240V 5AAC200~240V 単層 5A
外形寸法(mm)545W×432H×654D540W×460H×630D570W×590H×650D
重量55kg44kg65kg

スピンコーター MS-B100[φ4インチウエハー・75×75mm基板対応モデル]

最大基板サイズφ4インチウエハー
又は75×75mm基板
回転数(rpm)20~8,000
回転精度±1rpm(負荷時)

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スピンコーター MS-B100 膜厚画像 

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スピンコーター MS-B100

スピンコーター MS-B150[φ6インチウエハー・100×100mm基板対応モデル]

最大基板サイズφ6インチウエハー
又は100×100mm基板
回転数(rpm)20~7,000
回転精度±1rpm(負荷時)

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スピンコーター MS-B150

スピンコーター MS-B200[φ8インチウエハー・150×150mm基板対応モデル]

最大基板サイズφ8インチウエハー
又は150×150mm基板
回転数(rpm)20~5,000
回転精度±1rpm(負荷時)

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スピンコーター MS-B200

スピンコーター MS-B300[φ12インチウエハー・200×200mm基板対応モデル]

最大基板サイズMAXφ12インチ
又は200×200mm基板
回転数(rpm)20~5,000
回転精度±1rpm(負荷時)

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スピンコーター MS-B300

スピンコーター MS-B200密閉型[密閉式小型角基板専用モデル]

最大基板サイズ100×100mm基板
回転数(rpm)20~3,000
回転精度±1rpm(負荷時)

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スピンコーター MS-B200密閉型 膜厚画像 

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スピンコーター MS-B200密閉型

スピンコーター MS-B300密閉型[密閉式大型角基板専用モデル]

最大基板サイズ150×150mm基板
回転数(rpm)20~3,000
回転精度±1rpm(負荷時)

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スピンコーター MS-B300密閉型 膜厚画像 

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スピンコーター MS-B300密閉型

試料台

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター塗布機の試料台を用途に応じて標準品をご用意しております。
またその他に関しましては、特注対応をしておりますのでお気軽にお問合せください。

●試料台(標準)●試料台(特注)

MS-B100用
MS-B150用

 
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