技術資料 ／ FAQ
製品： スピンコーター
スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質の選び方
■アルミ製
●安価な試料台。
●吸着面の面精度を気にされている場合。
■ＰＯＭ製
●裏面を傷つけたくない。
●使用基板サイズが装置ＭＡＸサイズとなり、試料台が大きく重くなった場合。
●熱伝導が気になる場合。(溶剤の揮発性が高い、薄膜により温度変化の影響を受ける場合)
■テフロン製
●複数種類の性質の異なる塗布液を使用。
●有機溶剤を使用。
●裏面を傷つけたくない。
●熱伝導が気になる。(溶剤の揮発性が高い、薄膜により温度変化の影響を受ける場合)
その他FAQ 試料台(チャックホルダー)
- 標準的な試料台（チャックホルダー）などはありますか？納期はどれくらいですか？
- スピンコーターで使用可能な角(□)や丸(Φ)以外の形状の基板に対応できる試料台(チャックホルダー)には、どのような種類がありますか？
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)で、基板の固定方法にはどのような方式がありますか。
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質にはどのような種類がありますか？
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)は全ての機種で互換性がありますか。
- 試料台(チャックホルダー)の材質の違いによるメリットとデメリットは何ですか？
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質の選び方
