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技術資料 / FAQ

製品: スピンコーター

スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質の選び方

■アルミ製

 ●安価な試料台。

 ●吸着面の面精度を気にされている場合。

 

■POM製

 ●裏面を傷つけたくない。

 ●使用基板サイズが装置MAXサイズとなり、試料台が大きく重くなった場合。

 ●熱伝導が気になる場合。(溶剤の揮発性が高い、薄膜により温度変化の影響を受ける場合)

 

■テフロン製

 ●複数種類の性質の異なる塗布液を使用。

 ●有機溶剤を使用。

 ●裏面を傷つけたくない。

 ●熱伝導が気になる。(溶剤の揮発性が高い、薄膜により温度変化の影響を受ける場合)

 

その他FAQ 試料台(チャックホルダー)

 

 
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