製品案内

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター(塗布機)からマスクアライナー(露光装置)、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅測定の各種測定機も取り扱っております。

レジスト塗布 images 露光 images 現像 images エッチング
  膜厚 測定検査 線幅 測定検査

現像・エッチング装置

フォトリソ用小型現像装置 AD-1200

特徴

■スイングノズル式スプレー現像及びパドル現像も対応
■耐薬品を考慮し接液部にSUSを使用
■液晶タッチパネルにてプログラム簡単入力
■最大3薬液まで拡張可能
■薬液、リンス、振り切りを連続処理
■薬液圧送ポンプ内蔵

仕様

チャンバー ステンレス製
基板サイズ φ1インチ~φ6インチ(150×150mm)
薬液圧送 内蔵ポンプ使用
薬液吐出 スプレー吐出(スイングノズル式)

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フォトリソ用小型現像装置 AD-1200

スプレー現像とディップ現像の比較画像

スプレー 3μm
主な装置及び材料
レジスト AZ P4620
現像液 AZ 400K
使用スピンコーター MS-B150
使用露光装置 MA-20
使用現像装置 AD-1200
ディップ 3μm
プロセス条件
基板 φ4インチシリコンウエハ
プライマリー処理 HMDS
膜厚 >6μm
プリベーク 100℃ 90sec
スプレー現像時間 60sec

フォトリソ用現像装置 AD-3000

特徴

■大型基板対応ツインスイングノズルスプレー式
■耐薬品を考慮し接液部にSUSを使用
■液晶タッチパネルにてプログラム簡単入力
■薬液2系統又は3系統増設可能
■薬液、リンス、振り切りを連続処理
■薬液供給は加圧タンク圧送式

仕様

チャンバー ステンレス製
基板サイズ φ1インチ~φ12インチ(220×220mm)
薬液圧送 加圧タンク圧送式
薬液吐出 スプレー吐出(スイングノズル式)

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フォトリソ用現像装置 AD-3000

フォトリソ用小型エッチング装置 ED-1200

特徴

■スイングノズル式スプレー(ウェット)エッチング装置
■耐薬品を考慮し接液部にPVC(塩ビ)を使用
■液晶タッチパネルにてプログラム簡単入力
■最大3薬液まで拡張可能
■エッチング、リンス、振り切りを連続処理
■薬液圧送ポンプ内蔵

仕様

チャンバー PVC(塩ビ)製
基板サイズ φ1インチ~φ6インチ(150×150mm)
薬液圧送 内蔵ポンプ使用
薬液吐出 スプレー吐出(スイングノズル式)

フォトリソ用小型エッチング装置 ED-1200の詳しい製品仕様はこちら »

フォトリソ用小型エッチング装置 ED-1200

フォトリソ用エッチング装置 ED-3000

特徴

■大型基板対応
 ツインスイングノズルスプレー式(ウェット)
■耐薬品を考慮し接液部にPVC(塩ビ)を使用
■液晶タッチパネルにてプログラム簡単入力
■薬液2系統又は3系統増設可能
■エッチング、リンス、振り切りを連続処理
■薬液供給は加圧タンク圧送式

仕様

チャンバー PVC(塩ビ)製
基板サイズ φ1インチ~φ12インチ(220×220mm)
薬液圧送 加圧タンク圧送式
薬液吐出 スプレー吐出(スイングノズル式)

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主なエッチング対象物及びエッチング液 一覧

対象物   使用エッチング液
銅(Cu) 塩化第二鉄
ガラス・硝子 フッ酸
フッ硝酸 等
アルミ(Al) リン酸(燐酸)
シリコン(Si) フッ酸
チタン(Ti) フッ酸
金(Au) 王水
クローム(Cr) 硝酸
ITO  
フォトリソ用エッチング装置 ED-3000
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