小型、高性能(回転精度±1rpm)、多種多様な基板に対応 ラボ用スピンコーター

スピンコーター(塗布機) 製品案内

スピンコーター塗布機.com(ミカサ)の製品は、ACサーボモータを使用しているためブラシレスであることから、クリーンルームでのコンタミネーションに優れ、モーターの発熱を低減することで連続使用時の温度上昇による膜厚再現性への影響も受け難くなります。

     <最大対応サイズ>      <最大対応サイズ>  
4インチ
6インチ
8インチ
12インチ
MS-B100
MS-B150
MS-B200
MS-B300
 100×100mm
150×150mm
MS-B200(密閉型)
MS-B300(密閉型)
 試料台(標準)
試料台(特注)

スピンコーター(塗布機)

≪スピンコーターMS-Bシリーズ比較表≫

機種MS-B100MS-B150MS-B200
最大基板サイズφ4インチウエハーまたは75×75mm基板φ6インチウエハーまたは100×100mm基板φ8インチウエハーまたは150×150mm基板
回転数(rpm)20~8,00020~7,00020~5,000
アクリルアクリルポリカーボネート
スピン室内径φ220mmφ290mmφ360mm
セーフティーインターロック真空標準装備真空標準装備真空標準装備
オプションオプション標準装備
滴下装置取付不可オプションオプション
電源AC100~240V 5AAC100~240V 5AAC100~240V 5A
外形寸法(mm)259W×246H×330D352W×303H×432D500W×335H×583D
重量10kg16kg28kg
機種MS-B300MS-B200密閉型MS-B300密閉型
最大基板サイズφ12インチウエハーまたは200×200mm基板100×100mm基板150×150mm基板
回転数(rpm)20~5,00020~3,00020~3,000
ポリカーボネートアルミ/デルリンアルミ/デルリン
スピン室内径φ500mmφ360mmφ500mm
セーフティーインターロック真空標準装備真空標準装備真空標準装備
標準装備標準装備標準装備
滴下装置オプション取付不可オプション
電源AC200~240V 単層 5AAC100~240V 5AAC200~240V 単層 5A
外形寸法(mm)545W×432H×654D540W×460H×630D570W×590H×650D
重量55kg44kg65kg

スピンコーター MS-B100[φ4インチウエハー・75×75mm基板対応モデル]

最大基板サイズφ4インチウエハー
又は75×75mm基板
回転数(rpm)20~8,000
回転精度±1rpm(負荷時)
スピンコーター MS-B100

スピンコーター MS-B150[φ6インチウエハー・100×100mm基板対応モデル]

最大基板サイズφ6インチウエハー
又は100×100mm基板
回転数(rpm)20~7,000
回転精度±1rpm(負荷時)
スピンコーター MS-B150

技術資料(各種動画)

スピンコーター成膜処理動画

スピンコーター用レジスト滴下装置 滴下動画

スピンコーター用滴下・エッジ・バックリンス動画

スピンコーターエッジ・バックリンス動画

スピンコーター MS-B200[φ8インチウエハー・150×150mm基板対応モデル]

最大基板サイズφ8インチウエハー
又は150×150mm基板
回転数(rpm)20~5,000
回転精度±1rpm(負荷時)
スピンコーター MS-B200

スピンコーター MS-B300[φ12インチウエハー・200×200mm基板対応モデル]

最大基板サイズMAXφ12インチ
又は200×200mm基板
回転数(rpm)20~5,000
回転精度±1rpm(負荷時)
スピンコーター MS-B300

スピンコーター MS-B200密閉型[密閉式小型角基板専用モデル]

最大基板サイズ100×100mm基板
回転数(rpm)20~3,000
回転精度±1rpm(負荷時)
スピンコーター MS-B200密閉型

スピンコーター MS-B300密閉型[密閉式大型角基板専用モデル]

最大基板サイズ150×150mm基板
回転数(rpm)20~3,000
回転精度±1rpm(負荷時)
スピンコーター MS-B300密閉型

試料台

スピンコーター塗布機.comでは、スピンコーター塗布機の試料台を用途に応じて標準品をご用意しております。
またその他に関しましては、特注対応をしておりますのでお気軽にお問合せください。

試料台(標準)試料台(特注)

MS-B100用
MS-B150用

 
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