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スピンコーター(塗布機) 製品案内

スピンコーター塗布機.com(ミカサ)の製品は、ACサーボモータを使用しているためブラシレスであることから、クリーンルームでのコンタミネーションに優れ、モーターの発熱を低減することで連続使用時の温度上昇による膜厚再現性への影響も受け難くなります。

     <最大対応サイズ>        <最大対応サイズ>    
4インチ
6インチ
8インチ
12インチ
MS-B100
MS-B150
MS-B200
MS-B300
  100×100mm
150×150mm
MS-B200(密閉型)
MS-B300(密閉型)
  試料台(標準)
試料台(特注)

スピンコーター(塗布機)

≪スピンコーターMS-Bシリーズ比較表≫

機種 MS-B100 MS-B150 MS-B200
最大基板サイズ φ4インチウエハーまたは75×75mm基板 φ6インチウエハーまたは100×100mm基板 φ8インチウエハーまたは150×150mm基板
回転数(rpm) 20~8,000 20~7,000 20~5,000
アクリル アクリル ポリカーボネート
スピン室内径 φ220mm φ290mm φ360mm
セーフティーインターロック 真空 標準装備 真空 標準装備 真空 標準装備
オプション オプション 標準装備
滴下装置 取付不可 オプション オプション
電源 AC100~240V 5A AC100~240V 5A AC100~240V 5A
外形寸法(mm) 259W×246H×330D 352W×303H×432D 500W×335H×583D
重量 10kg 16kg 28kg
機種 MS-B300 MS-B200密閉型 MS-B300密閉型
最大基板サイズ φ12インチウエハーまたは200×200mm基板 100×100mm基板 150×150mm基板
回転数(rpm) 20~5,000 20~3,000 20~3,000
ポリカーボネート アルミ/デルリン アルミ/デルリン
スピン室内径 φ500mm φ360mm φ500mm
セーフティーインターロック 真空 標準装備 真空 標準装備 真空 標準装備
標準装備 標準装備 標準装備
滴下装置 オプション 取付不可 オプション
電源 AC200~240V 単層 5A AC100~240V 5A AC200~240V 単層 5A
外形寸法(mm) 545W×432H×654D 540W×460H×630D 570W×590H×650D
重量 55kg 44kg 65kg

スピンコーター MS-B100[φ4インチウエハー・75×75mm基板対応モデル]

最大基板サイズ φ4インチウエハー
又は75×75mm基板
回転数(rpm) 20~8,000
回転精度 ±1rpm(負荷時)
スピンコーター MS-B100

スピンコーター MS-B150[φ6インチウエハー・100×100mm基板対応モデル]

最大基板サイズ φ6インチウエハー
又は100×100mm基板
回転数(rpm) 20~7,000
回転精度 ±1rpm(負荷時)
スピンコーター MS-B150

スピンコーター MS-B200[φ8インチウエハー・150×150mm基板対応モデル]

最大基板サイズ φ8インチウエハー
又は150×150mm基板
回転数(rpm) 20~5,000
回転精度 ±1rpm(負荷時)
スピンコーター MS-B200

スピンコーター MS-B300[φ12インチウエハー・200×200mm基板対応モデル]

最大基板サイズ MAXφ12インチ
又は200×200mm基板
回転数(rpm) 20~5,000
回転精度 ±1rpm(負荷時)
スピンコーター MS-B300

スピンコーター MS-B200密閉型[密閉式小型角基板専用モデル]

最大基板サイズ 100×100mm基板
回転数(rpm) 20~3,000
回転精度 ±1rpm(負荷時)
スピンコーター MS-B200密閉型

スピンコーター MS-B300密閉型[密閉式大型角基板専用モデル]

最大基板サイズ 150×150mm基板
回転数(rpm) 20~3,000
回転精度 ±1rpm(負荷時)
スピンコーター MS-B300密閉型

試料台

スピンコーター塗布機.comでは、スピンコーター塗布機の試料台を用途に応じて標準品をご用意しております。
またその他に関しましては、特注対応をしておりますのでお気軽にお問合せください。

試料台(標準) 試料台(特注)

MS-B100用
MS-B150用

 
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