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スピンコーター・塗布機 基板/塗布材

スピンコーター塗布機.com(ミカサ)のスピンコーター(塗布機)において使用されている主な基板/塗布材を紹介致します。

<塗布材> ●感光材 光触媒材料  
    高分子・ポリマー  
    ITO/IGZO  
    SU-8 |日本化薬
    UVレジン(紫外線硬化樹脂)  
    ポリイミド  
    顔料  
    フォトレジスト(OFPR) |東京応化
    フォトレジスト(AZ) |メルク・ジャパン(旧 AZマテリアル)
    フォトレジスト(resist)  
    有機顔料 ※グローブボックス内での使用
    有機材料 ※グローブボックス内での使用
    有機半導体材料 ※グローブボックス内での使用
    BM(ブラックマトリクス)  
  ●コーティング コーティング材料  
    ゴム  
    たんぱく質  
    フィルム材料  
    ワックス  
    接着剤  
    熱硬化樹脂  
    反射防止膜  
    保護膜  
    無機 防汚・防曇コーティング材  
  ●その他 Na・Mg  
    エタノール混合液  
    カーボン  
    グラフェン  
    その他 樹脂  
    トルエン・キシレン  
    有機EL(OLED)材料  
    リン(P)を含む塗布液  
    添加剤  
       
<基板> ●材質 シリコン  
    サファイア <PSS(パターンドサファイアストレート)>
    ダイヤモンド  
    ガラス・硝子  
    セラミックス  
    フィルム  
       
  マスクアライナー露光装置.com
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