ミカサ・スピンコーター.com(ミカサ)のスピンコーター(塗布機)において使用されている主な基板/塗布材を紹介致します。
<塗布材> |
●感光材 |
光触媒材料 |
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高分子・ポリマー |
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ITO/IGZO |
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SU-8 |
|日本化薬 |
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UVレジン(紫外線硬化樹脂) |
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ポリイミド |
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顔料 |
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フォトレジスト(OFPR) |
|東京応化 |
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フォトレジスト(AZ) |
|メルク・ジャパン(旧 AZマテリアル) |
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フォトレジスト(resist) |
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EUVレジスト |
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有機顔料 ※グローブボックス内での使用 |
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有機材料 ※グローブボックス内での使用 |
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有機半導体材料 ※グローブボックス内での使用 |
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BM(ブラックマトリクス) |
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●コーティング |
コーティング材料 |
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ゴム |
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たんぱく質 |
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フィルム材料 |
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ワックス |
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接着剤 |
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熱硬化樹脂 |
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反射防止膜 |
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保護膜 |
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無機 防汚・防曇コーティング材 |
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●その他 |
Na・Mg |
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エタノール混合液 |
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カーボン |
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グラフェン |
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その他 樹脂 |
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トルエン・キシレン |
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有機EL(OLED)材料 |
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リン(P)を含む塗布液 |
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添加剤 |
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<基板> |
●材質 |
シリコン |
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サファイア |
<PSS(パターンドサファイアストレート)> |
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ダイヤモンド |
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ガラス・硝子 |
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セラミックス |
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フィルム |
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