技術資料 ／ FAQ
お客様から寄せられる、よくあるご質問を掲載しております。
お客様がお知りになりたい事柄がこちらに掲載されていない場合は、お問合せフォームにて随時受け付けております。
お気軽にご質問ください。
お問合せフォームにて受け付けたご質問は随時掲載していく予定です。
価格
デモ/ワークテスト
基板
試料台(チャックホルダー)
- 塗布液(レジスト液等)が装置内部に入らないような対策は可能ですか？
- 試料台(チャックホルダー)ですが、大は小を兼ねますか？
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質の選び方
- 試料台(チャックホルダー)の材質の違いによるメリットとデメリットは何ですか？
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)は全ての機種で互換性がありますか。
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質にはどのような種類がありますか？
- 標準的な試料台（チャックホルダー）などはありますか？納期はどれくらいですか？
- スピンコーターで使用可能な角(□)や丸(Φ)以外の形状の基板に対応できる試料台(チャックホルダー)には、どのような種類がありますか？
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)で、基板の固定方法にはどのような方式がありますか。
ユーティリティ
オプション
修理
- スピンコーターの真空が詰まってしまった様なのですがどう対処したら良いですか？
- スピンコート中に基板が頻繁に飛んでしまうのですが、どうしたら良いでしょうか？
- スピンコーターの回転などの表示部に【Serr】とエラーメッセージが表示されます。どのようなエラーでしょうか？
- スピンコーターの回転などの表示部に【Oerr】とエラーメッセージが表示されます。どのようなエラーでしょうか？
- スピンコーターが回転動作しなくなりました。電源はONになりプログラムを入力することも可能です。ただスタートボタンを押しても回転動作が始まらず、時間のカウントも始まりません。そして数秒後、終了の音が鳴ります。
- スピンコーターの電源をONにしても初期動作(１回転)せず、ビービーとエラー音が鳴って動作させることができません。
- 真空ポンプをONにするとスピンコーター本体の電源に関わらず真空が吸った状態になってしまいます。
その他
- MS-AとMS-Bとの違いは何ですか？
- 防爆タイプの装置は有りますか？
- チャンバー内の温度を上げる事はできますか？
- 国内で購入したスピンコーターを海外へ持っていきたいのですが可能でしょうか？
- スピンコーターの導入を検討しておりますが、その前にレンタル、もしくは受託加工をいただくことは可能ですか？
- スピンコーターにおいて使用されている主な塗布材はどのようなものがありますか？
- スピンコーターで簡易的に現像できませんか？
- 取扱説明書を紛失してしまいました。
- スピンコーターのチャンバー内の雰囲気制御はできますか？
- 膜厚分布の保証値を教えてください
- 御社のスピンコーターはグローブＢＯＸ内で使用可能ですか？
- 御社のスピンコーターは、酸性の塗布材料に対応して防錆仕様ですか？
- スピンコーターのチャンバー内で加温は可能ですか？
- 試料を加熱しながら塗布することはできますか？
- 御社のスピンコーターの膜厚対応範囲を教えてください
技術資料（各種動画）
技術資料（成膜データ）
