小型、高性能(回転精度±1rpm)、多種多様な基板に対応 ラボ用スピンコーター

ドラフトチャンバー

クリーン機器メーカーのパイオニアである(株)ダルトン社と共同で弊社スピンコーター専用として開発したドラフトチャンバーとグローブボックスです。
スピンコーター設置時の電源コードやスピンコーター本体と真空ポンプ(ライン)を繋ぐチューブ接続の取り回しなどのストレス無く設置が出来る様に工夫されております。
もちろんスピンコーター以外の用途でも使用可能です。

ドラフトチャンバー

 スピンコーターMS-B100/MS-B150専用ドラフトチャンバー

製品特徴

  • ■ スピンコーターMS-B100、MS-B150に特化した専用ドラフトチャンバーです。
  • ■ スピンコーターと真空ポンプ(ライン)との接続など取り回しのし易い設計としております。
  • ■ 搬入経路上の高さが足りない場合、下台部を分離させることも可能な設計となっております。

製品仕様

外径寸法 1200W×850D×2100H(㎜) 前面扉開時2465H(㎜)
前面シャッター作業高さ 400㎜
制御風速 0.4m/s
排気風量 9.9㎥/min
排気ダクト 200A
本体静圧 100㎩
本体 外装:SS+塗装/内壁SUS304 #400相当
前面シャッター バランスシャッター(透明ガラス)
作業面 SUS304 #400相当 耐荷重80㎏/㎡
採光部 透明ガラス製
排気口 SUS製 200A 相フランジ付
照明 イエロー光LED 20形
照明スイッチ 1連式
制御盤
コンセント AC100V MAX30A 2連式 2ヶ所 抜け止め
レベルアジャスター

※仕様は予告なく変更することがございます。

オプション

スライドダンパー付き排気ダクトポート フレキシブルホースにて接続
※スピンコーター本体に排気ダクト取り付け時のドラフトチャンバー
 排気口との接続用
キャスター 4ケ所
エアーガン 1個 接続チューブ外径φ6㎜

※仕様は予告なく変更することがございます。

 スピンコーターMS-B200(密閉型)/MS-B300(密閉型)専用ドラフトチャンバー

製品特徴

  • ■ スピンコーターMS-B200/B200密閉型、MS-B300/B300密閉型に特化した専用ドラフトチャンバーです。
  • ■ スピンコーターと真空ポンプ(ライン)との接続、滴下装置の配管ラインなど取り回しのし易い設計としております。
  • ■ 搬入経路上の高さが足りない場合、下台部を分離させることも可能な設計となっております。

製品仕様

外径寸法 1500W×1200D×2100H(㎜) 前面扉開時2465H(㎜)
前面シャッター作業高さ 400㎜
制御風速 0.4m/s
排気風量 12.8㎥/min
排気ダクト 250A
本体静圧 100㎩
本体 外装:SS+塗装/内壁SUS304 #400相当
前面シャッター バランスシャッター(透明ガラス)
作業面 SUS304 #400相当 耐荷重100㎏/㎡
採光部 透明ガラス製
排気口 SUS製 250A 相フランジ付
照明 イエロー光LED 40形
照明スイッチ 1連式
制御盤
コンセント AC100V MAX30A 2連式 2ヶ所 抜け止め
レベルアジャスター

※仕様は予告なく変更することがございます。

オプション

スライドダンパー付き排気ダクトポート フレキシブルホースにて接続
※スピンコーター本体に排気ダクト取り付け時のドラフトチャンバー
 排気口との接続用
キャスター 4ケ所
エアーガン 1個 接続チューブ外径φ6㎜
φ50グロメット 配管・廃液用

※仕様は予告なく変更することがございます。

グローブボックス

 スピンコーターMS-B100/MS-B150専用グローブボックス

製品特徴

  • ■ スピンコーターMS-B100、MS-B150に特化した専用グローブボックスです。
  • ■ スピンコーターの設置個所は掘り込み式で蓋を被せることできます。
  • ■ ボックス内のテーブルがフラットになり、他の用途でも使用が可能です。

製品仕様

外径寸法 1200W×900D×1760H(㎜) 側面扉開時約1700W(㎜)
グローブポート 2本(右左) ネオプレーングローブ
カプ内径φ214 幅8インチ 長さ800㎜
排気ポート 40A 5Kフランジ 相フランジ付
側面扉 開口 380W×450H(㎜)
照明 イエロー光LED 20形
スピンコーター設置BOX寸法 455W×620D×330.5H(mm)
外部スイッチ 照明電源、コンセント電源
配管継手 φ6㎜ チューブ継手
本体 SUS304 t=2.5
全面パネル 合わせガラス t=10 取り外し式
四隅破損防止用保護剤取り付け
クリップ 前面パネル固定用 SUS304 24か所
下部架台 SS+焼付塗装
コンセント AC100V MAX20A 2連式 2ヶ所 抜け止め
制御盤
レベルアジャスター

※仕様は予告なく変更することがございます。

オプション

キャスター 4ケ所
露点計ポート 2ヶ所
PC用テーブル 折り畳み式 300×385㎜ ノートPCサイズ用

※仕様は予告なく変更することがございます。

フォトリソグラフィ.com
レジスト塗布 images 露光 images 現像 images エッチング
  膜厚 測定検査 線幅・形状測定検査