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スピンコーター成膜データ MS-B300密閉型 | スピンコーターのフォトリソグラフィ.com

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技術資料 / FAQ

技術資料(成膜データ)

スピンコーター成膜データ MS-B300密閉型

【密閉型・オープン型角基板成膜分布比較画像】

<密閉型>  
スピンコーター成膜データ MS-B300密閉型 
膜厚測定装置FILMETRICS製F50
レジストOFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズ150×150mm
膜厚分布±0.7%
<オープン型>  
スピンコーター成膜データ MS-B300オープン型 
膜厚測定装置FILMETRICS製F50
レジストOFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズ150×150mm
膜厚分布±3.5%

 

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