技術資料 / FAQ

技術資料(成膜データ)

スピンコーター成膜データ MS-B300密閉型

【密閉型・オープン型角基板成膜分布比較画像】

<密閉型>    
スピンコーター成膜データ MS-B300密閉型  
膜厚測定装置 FILMETRICS製F50
レジスト OFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズ 150×150mm
膜厚分布 ±0.7%
<オープン型>    
スピンコーター成膜データ MS-B300オープン型  
膜厚測定装置 FILMETRICS製F50
レジスト OFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズ 150×150mm
膜厚分布 ±3.5%
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