技術資料 / FAQ
試料台(チャックホルダー)
スピンコーター用試料台(チャックホルダー)は全ての機種で互換性がありますか。
本体と試料台の差し込み径は機種により異なります。後継機種であれば互換性がございます。
後継機種は以下の通りです。
● 1H-D7 ⇒ MS-A100 ⇒ MS-B100
● 1H-DX2 ⇒ MS-A150 ⇒ MS-B150
● 1H-360S ⇒ MS-A200 ⇒ MS-B200
● MS-A300 ⇒ MS-B300
● 1H-700C ⇒ MS-A500
その他FAQ 試料台(チャックホルダー)
- 標準的な試料台(チャックホルダー)などはありますか?納期はどれくらいですか?
- スピンコーターで使用可能な角(□)や丸(Φ)以外の形状の基板に対応できる試料台(チャックホルダー)には、どのような種類がありますか?
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)で、基板の固定方法にはどのような方式がありますか。
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質にはどのような種類がありますか?
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)は全ての機種で互換性がありますか。
- 試料台(チャックホルダー)の材質の違いによるメリットとデメリットは何ですか?
- スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質の選び方