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スピンコーター(塗布機) 製品案内

スピンコーター塗布機.com(ミカサ)の製品は、ACサーボモータを使用しているためブラシレスであることから、クリーンルームでのコンタミネーションに優れ、モーターの発熱を低減することで連続使用時の温度上昇による膜厚再現性への影響も受け難くなります。

     <最大対応サイズ>        <最大対応サイズ>    
4インチ
6インチ
8インチ
12インチ
MS-B100
MS-B150
MS-B200
MS-B300
  100×100mm
150×150mm
MS-B200(密閉型)
MS-B300(密閉型)
  試料台(標準)
試料台(特注)

MS-B200(密閉型)

密閉式小型角基板専用モデル
MS-B200(密閉型)
MS-B200(密閉型)

製品仕様

最大基板サイズ100×100mm基板
回転数(rpm)20~3,000
回転精度±1rpm(負荷時)
モーターACサーボモーター
密閉用蓋アルミ/デルリン
スピン室内径φ360mm
ステップ・パターン数100ステップ×10パターン
時間設定999.9sec
セーフティーインターロック真空  標準装備
蓋    標準装備
滴下装置取付不可
使用真空圧-0.08~-0.1MPa
ユーティリティエアー:0.3MPa(上部シリンダー用)
電源AC100~240V 5A
外形寸法540W×460H×630D
重量44kg

※仕様は予告なく変更する事がございます。

膜厚分布データ

膜厚分布データ

↑Click Zoom

MS-B200密閉型 膜厚分布±0.7%

膜厚分布データ

↑Click Zoom

MS-B200オープン型 膜厚分布19.6%

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