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測定・検査装置(膜厚)

スピンコーター塗布機.comでは、非接触膜厚測定機・膜厚装置、段差測定装置も扱っております。非接触膜厚測定機・膜厚装置は、反射率分光法とカーブフィット法を組み合わせた非接触光学式薄膜測定装置です。薄膜の表面と基板との界面からの反射を解析することにより、薄膜の測定が数秒で簡単に行えます。段差測定装置は、段差及び二次元表面粗さ等を自動的に測定しデータ解析処理を行う多目的、多機能な微細形状測定機です。

非接触膜厚測定機 F20
F40
F50
  段差計 ET4000A
ET200

段差計・プロファイラー・表面粗さ測定

スピンコーター塗布機.comでは、段差測定装置・プロファイラー・表面粗さ測定装置も扱っております。段差測定装置は、段差及び二次元表面粗さ等を自動的に測定しデータ解析処理を行う多目的、多機能な微細形状測定機です。

 ●ET4000A ET4000A ET4000A
 

全自動三次元微細形状測定に対応した表面粗さ解析及び段差測定装置

□形状・うねり測定のX軸真直精度保証(0.1μm/100mm以下)
□軟質試料に対応した低触圧測定が可能
□直動式検出器を採用により、円弧歪とガタを解消し高精度段差測定を実現

 ●ET200 ET200 ET200
 

コストパフォーマンスが高い二次元表面粗さ解析及び段差測定装置

□形状・うねり測定のX軸真直精度保証(0.2μm/100mm以下)
□軟質試料に対応した低触圧測定が可能
□直動式検出器を採用により、円弧歪とガタを解消し高精度段差測定を実現

型式 ET4000A ET200
最大サンプルサイズ 210mm×210mm 厚さ50mm
(重さ2kg)
160mmφ×厚さ48mm
(重さ2kg)
サンプルステージ ステージサイズ 220mm×220mm φ160mm
傾斜調整範囲 ±1mm/150mm(X軸・Y軸)電動 ±2°(X軸)手動
検出器 センサ 差動トランス(直動式)
最大検出範囲 100μm 600μm
測定力 0.5μN~500μN
(0.05mgf~50mgf)
10μN~500μN
(1mgf~50mgf)
分解能 0.1nm 0.1nm
触針先端 R2μm、R0.5μm 頂角60°ダイヤモンド R2μm 頂角60°ダイヤモンド
X軸 X軸 電動ステージ
駆動距離 100mm 100mm
真直度 0.1μm/100mm以下 0.2μm/100mm以下
位置決め再現性 ±5μm ±5μm
Y軸 Y軸 電動ステージ 手動(マイクロメータ)
駆動距離 150mm
(検出器位置前より100mm、
奥50mm)
25mm
(±12.5mm)
真直度 5μm/100mm -
位置決め再現性 ±5μm -
Z軸 Z軸 電動ステージ
上下動範囲 52mm 50mm
自動停止機能 有り(サンプルに自動でコンタクトし停止する)
段差測定の再現性 1σ 0.5nm(メーカー規格) 1σ 1nm以内(メーカー規格)
電源 AC100V 50/60Hz 300VA AC90~240V 50/60Hz 300VA
測定部大きさ W680×D580×H660mm 約200kg W500×D460×H610mm 約120kg

※仕様は予告なく変更することがございます。

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