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測定・検査装置(膜厚)

スピンコーター塗布機.comでは、非接触膜厚測定機・膜厚装置、段差測定装置も扱っております。非接触膜厚測定機・膜厚装置は、反射率分光法とカーブフィット法を組み合わせた非接触光学式薄膜測定装置です。薄膜の表面と基板との界面からの反射を解析することにより、薄膜の測定が数秒で簡単に行えます。段差測定装置は、段差及び二次元表面粗さ等を自動的に測定しデータ解析処理を行う多目的、多機能な微細形状測定機です。

非接触膜厚測定機 F20
F40
F50
  段差計 ET4000A
ET200

膜厚測定機(非接触・反射分光・光学式)・膜厚測定機

スピンコーター塗布機.comでは、薄膜測定装置も扱っております。薄膜測定装置は、反射率分光法とカーブフィット法を組み合わせた非接触光学式薄膜測定装置です。薄膜の表面と基板との界面からの反射を解析することにより、薄膜の測定が数秒で簡単に行えます。

 ●F20 F-20   F-20
  □シングルスポット測定
□コンパクト・低価格
□研究・開発用途に最適
F20-UVF20F20-NIRF20-EXR
膜厚測定範囲 3nm~40μm 15nm~70μm 100nm~250μm 15nm~250μm
※Si基板上のSiO2膜を元に換算。
測定波長範囲 200~1100nm 380~1050nm 950~1700nm 380~1700nm
正確性
(Accuracy)
膜厚の0.4%もしくは以下の数値のいずれか大きい値
(1nm) (2nm) (3nm) (2nm)
※Si基板上のSiO2膜サンプルの場合、膜材料その他の条件で異なります。
測定精度・再現性
(Precision)
0.1nm 0.1nm 0.2nm 0.1nm
※Si基板上の500nm厚のSiO2サンプルを、100回連続測定時の平均値を20日に渡って行った結果の標準偏差
スポット径 付属ステージ(標準φ1.5mm、スモールスポットφ0.1mm)
検出器 1250素子 Siアレイ 920素子 Siアレイ 512素子 InGaAsアレイ 770素子 Siアレイ
512素子 InGaAsアレイ
光源 重水素
ハロゲンランプ
ハロゲンランプ
サンプルサイズ 最大φ100mm(標準ステージ使用時)
対応コンピューター Microsoft社 Windows8/USBポート
電源 AC100V 1A
本体寸法(mm) 210W×90H×230D(突起部は含みません)
オプション コンタクトプローブ
透過光測定オプション
φ12インチ対応手動回転ステージ

※仕様は予告なく変更することがございます。

 ●F40-UV  ●F40
  F40-UV   F-40
  薄膜用途(UV仕様 顕微鏡付)   汎用タイプ(顕微鏡は別途必要となります。)
       
  F40   □顕微鏡式
□測定箇所をPCで確認 
□膜厚測定スポットは、φ1μmから100μmまで対応
□パターン付ウエハなどの多様な膜解析に最適
□研究・開発用途に最適
F40-UVF40-UVXF40F40-NIRF40-EXR
膜厚測定範囲対物レンズ
5倍使用時
- - 20nm~20μm 40nm~40μm 20nm~40μm
対物レンズ
10倍使用時
- - 20nm~15μm 40nm~30μm 20nm~30μm
対物レンズ
15倍使用時
4nm~20μm 4nm~40μm 20nm~15μm 40nm~30μm 20nm~30μm
対物レンズ
50倍使用時
- - 20nm~2μm 40nm~4μm 20nm~4μm
対物レンズ
100倍使用時
- - 20nm~1.5μm 40nm~3μm 20nm~3μm
※膜材料、顕微鏡その他の条件により異なります。
分光器波長範囲 200~1100nm 200~1700nm 450~850nm 950~1700nm 400~1700nm
正確性
(Accuracy)
膜厚の0.4%もしくは以下の数値のいずれか大きい値
(1nm) (1nm) (2nm) (3nm) (2nm)
※5倍の対物レンズを使用した場合。
測定精度・再現性
(Precision)
0.1nm 0.07nm 0.1nm 0.2nm 0.1nm
※Si基板上の1000nm厚のSiO2サンプルを、100回連続測定時の平均値を20日に渡って行った結果の標準偏差
最少膜厚値 50nm 50nm 100nm 500nm 100nm
※膜材料、顕微鏡その他の条件により異なります。
サンプルサイズ 使用する顕微鏡に準ずる。
対応コンピューター Microsoft社 Windows8/USBポート
電源 AC100V 1A
本体寸法(mm) 210W×90H×230D(F40のみ、顕微鏡は含みません。)

※仕様は予告なく変更することがございます。

測定スポットサイズ標準500μm
アパーチュア使用時
スモール250μm
アパーチュア使用時
スモール100μm
アパーチュア使用時
対物レンズ 5倍 100μm 50μm 20μm
対物レンズ 10倍 50μm 25μm 10μm
対物レンズ 15倍 33μm 17μm 7μm
対物レンズ 50倍 10μm 5μm 2μm
対物レンズ 100倍 5μm 2.5μm 1μm

※顕微鏡 その他の条件により異なります。

 ●F50 F-20   F-20
  □自動マッピング測定
□膜厚分布・3D表示ソフト付
□φ3',4',6',8',12'ウエハ及び角基板に対応
□開発・生産技術・品質保証での用途に最適
F50-UVF50F50-NIRF50-EXR
膜厚測定範囲 5nm~40μm 20nm~70μm 100nm~250μm 20nm~250μm
※Si基板上のSiO2膜を元に換算。
測定波長範囲 200~1100nm 380~1050nm 950~1700nm 380~1700nm
※Si基板上のSiO2膜を元に換算。
正確性
(Accuracy)
膜厚の0.4%もしくは2nmのいずれか大きい数値
(1nm) (2nm) (3nm) (2nm)
※Si基板上のSiO2膜サンプルの場合、膜材料その他の条件で異なります。
スポット径 標準φ1.5㎜、オプションファイバー使用時φ100μm
検出器 Siアレイ 980素子 Siアレイ 512素子 InGaAsアレイ 770素子 Siアレイ
512素子 InGaAsアレイ
光源 重水素
ハロゲンランプ
ハロゲンランプ
サンプルサイズ 300mm、200mm、6インチ、4インチ、3インチ、2インチ(選択可能)
測定時間 サンプルサイズ 200mm サンプルサイズ 300mm
5ポイント 5秒 5ポイント 8秒
25ポイント 14秒 25ポイント 21秒
56ポイント 29秒 56ポイント 43秒
※Si基板上のSiO2膜単層を測定した場合
対応コンピューター Microsoft社 Windows8/USBポート
電源 AC100V 3A
本体寸法(mm) 355W×280H×483D(突起部は含みません)
重量 約16㎏

※仕様は予告なく変更することがございます。

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