小型、高性能(回転精度±1rpm)、多種多様な基板に対応 ラボ用スピンコーター

測定・検査装置(膜厚)

スピンコーター塗布機.comでは、非接触膜厚測定機・膜厚装置、段差測定装置も扱っております。非接触膜厚測定機・膜厚装置は、反射率分光法とカーブフィット法を組み合わせた非接触光学式薄膜測定装置です。薄膜の表面と基板との界面からの反射を解析することにより、薄膜の測定が数秒で簡単に行えます。段差測定装置は、段差及び二次元表面粗さ等を自動的に測定しデータ解析処理を行う多目的、多機能な微細形状測定機です。

非接触膜厚測定機F20
F40
F50
 段差計ET4000A
ET200

膜厚測定機(非接触・反射分光・光学式)・膜厚測定機

スピンコーター塗布機.comでは、薄膜測定装置も扱っております。薄膜測定装置は、反射率分光法とカーブフィット法を組み合わせた非接触光学式薄膜測定装置です。薄膜の表面と基板との界面からの反射を解析することにより、薄膜の測定が数秒で簡単に行えます。

 ●F20F-20 F-20
 □シングルスポット測定
□コンパクト・低価格
□研究・開発用途に最適
F20-UVF20F20-NIRF20-EXR
膜厚測定範囲3nm~40μm15nm~70μm100nm~250μm15nm~250μm
※Si基板上のSiO2膜を元に換算。
測定波長範囲200~1100nm380~1050nm950~1700nm380~1700nm
正確性
(Accuracy)
膜厚の0.4%もしくは以下の数値のいずれか大きい値
(1nm)(2nm)(3nm)(2nm)
※Si基板上のSiO2膜サンプルの場合、膜材料その他の条件で異なります。
測定精度・再現性
(Precision)
0.1nm0.1nm0.2nm0.1nm
※Si基板上の500nm厚のSiO2サンプルを、100回連続測定時の平均値を20日に渡って行った結果の標準偏差
スポット径付属ステージ(標準φ1.5mm、スモールスポットφ0.1mm)
検出器1250素子 Siアレイ920素子 Siアレイ512素子 InGaAsアレイ770素子 Siアレイ
512素子 InGaAsアレイ
光源重水素
ハロゲンランプ
ハロゲンランプ
サンプルサイズ最大φ100mm(標準ステージ使用時)
対応コンピューターMicrosoft社 Windows8/USBポート
電源AC100V 1A
本体寸法(mm)210W×90H×230D(突起部は含みません)
オプションコンタクトプローブ
透過光測定オプション
φ12インチ対応手動回転ステージ

※仕様は予告なく変更することがございます。

 ●F40-UV ●F40
 F40-UV F-40
 薄膜用途(UV仕様 顕微鏡付) 汎用タイプ(顕微鏡は別途必要となります。)
    
 F40 □顕微鏡式
□測定箇所をPCで確認 
□膜厚測定スポットは、φ1μmから100μmまで対応
□パターン付ウエハなどの多様な膜解析に最適
□研究・開発用途に最適
F40-UVF40-UVXF40F40-NIRF40-EXR
膜厚測定範囲対物レンズ
5倍使用時
--20nm~20μm40nm~40μm20nm~40μm
対物レンズ
10倍使用時
--20nm~15μm40nm~30μm20nm~30μm
対物レンズ
15倍使用時
4nm~20μm4nm~40μm20nm~15μm40nm~30μm20nm~30μm
対物レンズ
50倍使用時
--20nm~2μm40nm~4μm20nm~4μm
対物レンズ
100倍使用時
--20nm~1.5μm40nm~3μm20nm~3μm
※膜材料、顕微鏡その他の条件により異なります。
分光器波長範囲200~1100nm200~1700nm450~850nm950~1700nm400~1700nm
正確性
(Accuracy)
膜厚の0.4%もしくは以下の数値のいずれか大きい値
(1nm)(1nm)(2nm)(3nm)(2nm)
※5倍の対物レンズを使用した場合。
測定精度・再現性
(Precision)
0.1nm0.07nm0.1nm0.2nm0.1nm
※Si基板上の1000nm厚のSiO2サンプルを、100回連続測定時の平均値を20日に渡って行った結果の標準偏差
最少膜厚値50nm50nm100nm500nm100nm
※膜材料、顕微鏡その他の条件により異なります。
サンプルサイズ使用する顕微鏡に準ずる。
対応コンピューターMicrosoft社 Windows8/USBポート
電源AC100V 1A
本体寸法(mm)210W×90H×230D(F40のみ、顕微鏡は含みません。)

※仕様は予告なく変更することがございます。

測定スポットサイズ標準500μm
アパーチュア使用時
スモール250μm
アパーチュア使用時
スモール100μm
アパーチュア使用時
対物レンズ 5倍100μm50μm20μm
対物レンズ 10倍50μm25μm10μm
対物レンズ 15倍33μm17μm7μm
対物レンズ 50倍10μm5μm2μm
対物レンズ 100倍5μm2.5μm1μm

※顕微鏡 その他の条件により異なります。

 ●F50F-20 F-20
 □自動マッピング測定
□膜厚分布・3D表示ソフト付
□φ3',4',6',8',12'ウエハ及び角基板に対応
□開発・生産技術・品質保証での用途に最適
F50-UVF50F50-NIRF50-EXR
膜厚測定範囲5nm~40μm20nm~70μm100nm~250μm20nm~250μm
※Si基板上のSiO2膜を元に換算。
測定波長範囲200~1100nm380~1050nm950~1700nm380~1700nm
※Si基板上のSiO2膜を元に換算。
正確性
(Accuracy)
膜厚の0.4%もしくは2nmのいずれか大きい数値
(1nm)(2nm)(3nm)(2nm)
※Si基板上のSiO2膜サンプルの場合、膜材料その他の条件で異なります。
スポット径標準φ1.5㎜、オプションファイバー使用時φ100μm
検出器Siアレイ980素子 Siアレイ512素子 InGaAsアレイ770素子 Siアレイ
512素子 InGaAsアレイ
光源重水素
ハロゲンランプ
ハロゲンランプ
サンプルサイズ300mm、200mm、6インチ、4インチ、3インチ、2インチ(選択可能)
測定時間サンプルサイズ 200mmサンプルサイズ 300mm
5ポイント5秒5ポイント8秒
25ポイント14秒25ポイント21秒
56ポイント29秒56ポイント43秒
※Si基板上のSiO2膜単層を測定した場合
対応コンピューターMicrosoft社 Windows8/USBポート
電源AC100V 3A
本体寸法(mm)355W×280H×483D(突起部は含みません)
重量約16㎏

※仕様は予告なく変更することがございます。

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