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真空固定方式のためゼロにする事は不可能ですが、試料台の形状等の工夫により効果を上げる事は可能です。どのような基板形状か膜厚、塗布液の粘度、塗布量により変わってまいります。まずは問い合わせフォームよりお気軽にご連絡下さい。

原則預かり修理対応となりますが、お客様の手で復旧させる事も可能です。また、真空シール材(オイルシール)、電磁弁の劣化による真空リークも考えられます。オイルシールの交換方法のPDFファイルをご用意しております。下記お問い合わせフォームより装置型式を明記の上、ご要求下さい。担当者より折り返しの連絡と同ファイルをご案内させていただきます。