技術資料 ／ FAQ
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スピンコーターの真空が詰まってしまった様なのですがどう対処したら良いですか？
原則預かり修理対応となりますが、お客様の手で復旧させる事も可能です。また、真空シール材(オイルシール)、電磁弁の劣化による真空リークも考えられます。オイルシールの交換方法のPDFファイルをご用意しております。下記お問い合わせフォームより装置型式を明記の上、ご要求下さい。担当者より折り返しの連絡と同ファイルをご案内させていただきます。
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原則預かり修理対応となりますが、お客様の手で復旧させる事も可能です。また、真空シール材(オイルシール)、電磁弁の劣化による真空リークも考えられます。オイルシールの交換方法のPDFファイルをご用意しております。下記お問い合わせフォームより装置型式を明記の上、ご要求下さい。担当者より折り返しの連絡と同ファイルをご案内させていただきます。
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