技術資料 / FAQ
試料台(チャックホルダー)
塗布液(レジスト液等)が装置内部に入らないような対策は可能ですか?
真空固定方式のためゼロにする事は不可能ですが、試料台の形状等の工夫により効果を上げる事は可能です。どのような基板形状か膜厚、塗布液の粘度、塗布量により変わってまいります。まずは問い合わせフォームよりお気軽にご連絡下さい。

塗布液(レジスト液等)が装置内部に入らないような対策は可能ですか? | ミカサ・スピンコーター.com ミカサ・スピンコーター.com
真空固定方式のためゼロにする事は不可能ですが、試料台の形状等の工夫により効果を上げる事は可能です。どのような基板形状か膜厚、塗布液の粘度、塗布量により変わってまいります。まずは問い合わせフォームよりお気軽にご連絡下さい。