小型、高性能(回転精度±1rpm)、多種多様な基板に対応 ラボ用スピンコーター
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技術資料 / FAQ

試料台(チャックホルダー)

塗布液(レジスト液等)が装置内部に入らないような対策は可能ですか?

真空固定方式のためゼロにする事は不可能ですが、試料台の形状等の工夫により効果を上げる事は可能です。どのような基板形状か膜厚、塗布液の粘度、塗布量により変わってまいります。まずは問い合わせフォームよりお気軽にご連絡下さい。

お問い合わせはお気軽に!フォトリソグラフィ.com/ミカサ・スピンコーター.comを、ご覧頂きまして誠にありがとうございます。スピンコーター(塗布機)等のことなら「ミカサ・スピンコーター.com」にお任せ下さい
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