技術資料 ／ FAQ
試料台(チャックホルダー)
試料台(チャックホルダー)ですが、大は小を兼ねますか？
大は小を兼ねません。基本的に1基板に1試料台(チャックホルダー)という考え方です。試料台(チャックホルダー)の吸着面より 小さい基板をその試料台(チャックホルダー)にチャックさせますと真空リークしてバキュームインターロックが解除されず回転 動作致しません。また試料台(チャックホルダー)内部、本体内部へと塗布液が吸引される恐れがあります。必ず基板より小さい サイズの試料台(チャックホルダー)をご使用下さい。
