製品案内

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター(塗布機)からマスクアライナー(露光装置)、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅測定の各種測定機も取り扱っております。

レジスト塗布
  <最大対応サイズ>
レジスト塗布

4インチ
6インチ
8インチ
12インチ
100×100mm
150×150mm

MS-B100
MS-B150
MS-B200
MS-B300
MS-B200(密閉型)
MS-B300(密閉型)

   

試料台(標準)
試料台(特注)

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露光
  露光 MA-20
MA-10
MA-60F
M-2LF
M-1S
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現象
  現象 AD-1200
AD-3000
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エッチング
  エッチング ED-1200
ED-3000
膜厚 測定検査
膜厚 測定検査

F20
F40
F50

膜厚 測定検査

ET4000A
ET200

線幅 測定検査
線幅 測定検査
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