製品案内
検査・測定機 － 非接触膜厚測定機・段差計など
フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター（塗布機）からマスクアライナー（露光装置）、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。
| 非接触膜厚測定機 | 段差計・プロファイラー | コンフォーカル顕微鏡 | ||
| ●OPTM series ●ファイバー式膜厚モニタ | ●ET200A ●ET200A-D ●ET200A-3D ●ET4000A ●ET4000AK | ●OPTELICS HYBRID C3 ●OPTELICS HYBRID L3 ●OPTELICS HYBRID L7 |
コンフォーカル顕微鏡 OPTELICS HYBRID
コンフォーカル顕微鏡（共焦点顕微鏡・レーザー顕微鏡）は、従来の光学顕微鏡に比べて高い解像力をもつ顕微鏡です。凹凸のある試料面に対して、視野内全面にピントの合った高解像度画像を得ることができ、また非破壊、非接触の3次元形状計測を可能にしました。
一般的に光学顕微鏡の性能は、使用する光の波長と対物レンズのN.A.（開口数）に大きく影響されます。いくら短い波長の光を使用しても、N.A.を大きくしないと解像力は高くなりません。従って、微細なパターン等の観察にはN.A.の大きい高倍率の対物レンズが必要になります。ところが、このようなレンズを使用して傾斜面や凹凸の大きい試料面を観察すると、視野全体にピントを合わせることが困難になります。これはN.A.が大きい程、焦点深度（XYの解像力を維持できるピントの許容範囲）が浅くなるためで、解像力と焦点深度はトレードオフの関係にあり、両立することができません。
しかしながら、コンフォーカル顕微鏡（共焦点顕微鏡・レーザー顕微鏡）を使用することで、この相反する課題を解決することができます。
光源にレーザーが使用されている場合は、レーザー顕微鏡※1と呼ばれていますが、これもコンフォーカル（共焦点）顕微鏡に含まれます。また、スポットやライン状に絞った光をXYスキャンすることで2次元画像を得ることから、SEMやSPMのような走査型顕微鏡の１つとも言えます。
コンフォーカル顕微鏡 OPTELICS HYBRIDの特長
6つの機能を1台に搭載！
白色コンフォーカルとレーザーコンフォーカル光学系をベースに、
微分干渉観察
垂直白色干渉観察
位相シフト干渉観察
反射分光膜厚膜厚測定
を搭載できます。
| ＜白色コンフォーカル顕微鏡＞ ・高精細 24bitフルカラー観察 ・広視野観察・測定 ・ミクロンオーダーの透明膜厚測定 | ■専用10X対物レンズ（NA:0.5）による3D画像  プロファイルデータ | |
| ＜レーザーコンフォーカル顕微鏡＞ ・高倍率 ・高分解能 ・高コントラスト | ■Siウェハ裏面（視野75μm、モニター上倍率3,700倍）  |
＜微分干渉観察＞
・平坦面上の高さ方向ナノレベルのキズや異物の可視化
| ＜垂直白色干渉＞ ・高さ方向数ナノレベルの形状測定 ・ミリオーダーの高視野 | ■測定事例（高さ約45nm）  | |
| ＜位相シフト干渉＞ ・高さ方向オングストロームオーダーの形状測定 | ■測定事例（高さ約8nm）  |
豊富な計測･解析機能
線幅測定・ピッチ測定・・・半導体パターン線幅測定
正確さ：±[0.02×（100／対物レンズの倍率）＋L/1000]μm
測定再現性：3σ=0.01μm
プロファイル計測・・・幅 高さ 角度 近似半径 偏差量
平面計測・・・二次元的な任意ライン上の 長さ 角度 円半径 個数カウント 高度差計測･段差測定 表面粗さ測定
研究開発における様々な３D解析・観察・測定が1台で可能になります！
充実のオプション
＜自動測定ソフト＞
電動ステージとの組合せで、指定したレシピに従い、半導体や結晶基板などのパターンの幅、高さ、粗さを自動測定します。
＜自動全面検査ソフト＞
ウエハやガラスなどの基板上に存在する微小欠陥や異物などを、全自動で全面検査。
欠陥MAPから任意ポイントの欠陥レビュー、欠陥分類（サイズ、白、黒、凹凸）も可能。
＜主な仕様＞
| モデル名 | ハイエンドモデルL7 | スタンダードモデルL3 | ベーシックモデルC3 | |
|---|---|---|---|---|
| 光源波長 | レーザー | 405nm | 405nm | – |
| キセノン/水銀キセノン | 436nm,486nm,514nm 546nm,578nm,633nm 白色 | Ｒ，Ｇ，Ｂ | Ｒ，Ｇ，Ｂ | |
| Zストローク | 80mm | 100mm | ||
| 対物 レンズ | 白色 | 1x,2.5x,5x,10x,20x,50x,100x,150x | ||
| レーザー | 50x,100x,150x | – | ||
| ズーム機能 | 1～8× | |||
| レボルバ | ５ケ穴電動レボルバ（レンズ位置自動認識機能付き） | |||
| ＸＹ ステージ | マニュアル | – | ○ | ○ |
| 電動 | ○ | オプション | オプション | |
| 幅測定 | 最小測定単位 | 0.001μm | ||
| 正確さ（不確かさ） | ±[0.02×(100/対物レンズ倍率)＋L/1000]μm | |||
| 測定再現性(3σ)※1 | 10nm | |||
| 高さ測定 | スケール分解能 | 0.1nm | ||
| 正確さ（不確かさ） | ±(0.11＋L/100)μm | |||
| 測定再現性(σ)※2 | 10nm | |||
| 測定範囲※3 | 7mm | |||
| 微分干渉観察 | ○ | オプション | オプション | |
| 光干渉測定 | ○ | オプション | オプション | |
| 反射分光膜厚測定 | ○ | オプション | オプション | |
| ソフト ウエア | 画像取得 | パッチワーク、HDRモード、サーチピーク、 ファーストピーク、マルチゲインモード等 | ||
| 基本機能 | 高さ測定、線幅測定、表面粗さ測定(JIS,ISO対応)、3D表示 | |||
| 画像処理 | フィルター、水平補正、２値化、ノイズカット、階調編集、 サイズ変換、カラーバランス等 | |||
| 形状測定 | 面積、体積、表面積、フェレ径、中心、円形度、最大長、 針状比等およそ20項目 | |||
| レポート作成 | レイアウト機能、画像データベース、テンプレート、拡張子一括変換 | |||
| トレーサビリティ対応 | ○ | |||
※1振動のない環境で基準パターンを対物レンズ100×(NA 0.95)を使用して測定した時の値です
※2振動のない環境でVLSIスタンダード社の標準段差を対物レンズ100×(NA 0.96)を使用して測定した時の値です。
※3使用する対物レンズの作動距離以内となります。
