フォトリソ工程の塗布~露光~現像・エッチング、検査まで、ラボ用半導体製造装置をワンストップで提供

製品案内

マスクアライナー(露光装置)

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター(塗布機)からマスクアライナー(露光装置)、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅測定の各種測定機も取り扱っております。

MA-20 MA-10B MA-60F M-2LF M-1S

MA-10B

φ4インチ基板対応モデル
MA-10B

製品特徴

●マニプレーターステージが±50㎜可動しアライメント位置合わせが容易
●可動部にセンサーを設ける事により誤動作を防止
●軽量設計 ※当社MA-10比較
●マスク落下防止用引出板付 ※マスクガラス仕様に応じて作製
●不定型サイズの基板にも対応 ※真空吸着試料台を基板に応じて作製

製品仕様

最大基板サイズφ4インチ
最大基板厚2mm
最大マスクサイズ5×5インチ
UVランプハウスコリメータータイプ
照度>8mW/c㎡(at405nm)
照度均一性<±8.5%
露光光源UVランプ250W
露光波長ブロードバンド(g・h・i線)
有効照射面φ4インチ
露光用タイマー0~999.9秒 タイマーセット式
UVランプ劣化補正機能取付不可
アライメントスコープ二視野顕微鏡
対物レンズ間隔18~60mm
顕微鏡解像度1.2μm
対物レンズ20×使用時
アライメントギャップ測長機能取付不可
コンタクト方法ソフトコンタクト/ハードコンタクト
操作部タッチパネル式
インターロック機構マスク・ウエハ吸着
Z軸下限位置
スコープスイングUP・DOWN位置
マニプレーター引出ステージ位置
マニプレーター移動範囲X・Y±6.5mm 微動0.025mm1回転
θ:50° 微動±5°
Z:10mm 微動0.025mm1回転
十字動ステージ移動範囲X・Y±50mm
電源AC100 50/60Hz 9A
ユーティリティエアー:0.5MPa
スコープスイング/ステージロック用
N2:0.5MPa ハードコンタクト用
真空:-0.08MPa マスク/基板吸着用
外形寸法(mm)750W×600H×650D
重量90kg
オプション専用除振台
真空ポンプ
三眼鏡筒モニター仕様
露光光源500W仕様

※仕様は予告なく変更する事がございます。

カタログダウンロード・お問合せはこちら
お問い合わせはお気軽に!フォトリソグラフィ.comを、ご覧頂きまして誠にありがとうございます。成膜・露光装置等のことなら「フォトリソグラフィ.com」にお任せ下さい!