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コンセプト

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特徴11960年代から各種ラボ機開発。納入累積7000台以上の実績を誇るトップメーカー

◆納入実績

フォトリソグラフィ.com(ミカサ)では、ラボ用スピンコーター(塗布機)、マスクアライナー(露光機)のトップメーカーとして、納入実績7000台以上あります。

◆海外納入実績

中国、台湾、韓国、シンガポール、マレーシア、インド、タイ、アメリカ、オーストラリア

◆歴代のスピンコーター(塗布機)

歴代のスピンコーター(塗布機) 年代

◆歴代のマスクアライナー・露光機

歴代のマスクアライナー・露光機

特徴2フォトリソ工程の塗布~露光~現像・エッチング、検査まで、ラボ用半導体製造装置をワンストップで提供

レジスト塗布 ..images 露光 images 現像 images エッチング
  膜厚 測定検査 線幅 測定検査

レジスト塗布、露光、現像、エッチングなど、半導体製造の前工程に必要な装置をすべて取り揃え、ワンストップで提供しています。また、スピンコーターは全機種代替機をご用意し、故障時にもすばやく対応するなど、販売後のアフターサポートも万全。更に研究の際に発生する様々な問題に対しても、現場に伺いアドバイスを行っております。どの工程に問題があるのか、どう改善していけばよいのかを、お客様と一緒に考え、解決のヒントを導きだしていきます。単に、装置の販売する会社ではなく、半導体のことを相談できるコンサルタントとして、半導体製造プロセス全体をサポートしていきます。

特徴3さまざまな塗布材の検証データを保有し、実験のサポートが出来る

(塗布)●さまざまな塗布材に対する検証データ(膜厚分布)を保有

    ●各種レシピを保有している
     ・~100μmまでの厚膜を成膜可能
     ・膜厚均一性     など

<膜厚分布データ>
成膜装置 MS-B200
膜厚測定装置 FILMETRICS製 F50
レジスト OFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズ φ8インチシリコンウエハー
ターゲット膜厚 1μm
膜厚分布 ±0.5%
  <膜厚分布データ>
成膜装置 MS-B200密閉型
膜厚測定装置 FILMETRICS製 F50
レジスト OFPR-800LB
基板サイズ 65×65mm
膜厚分布 ±0.7%
膜厚分布データ   膜厚分布データ

(露光)●実証データ(レジストパターン)を多数保有

SEM画像(薄膜)
露光装置 MA-20
線  幅 1μm L&S
レジスト OFPR-800LB
(東京応化製)
膜  厚 1μm
  SEM画像(厚膜)
露光装置 MA-20
線  幅 8μm(角ホール)
レジスト e-PR THICK
(e-chem japan製)
膜  厚 6.3μm
  SU-8
露光装置 MA-20
線  幅 7μm(円柱)
レジスト SU-8
(日本化薬製)
膜  厚 30μm

特徴4ラボにてワークテスト及びテスト機貸出で導入支援

◆スピンコーター(塗布機)全機種のテスト機を保有しております。 約1週間の貸出が可能です。

  ●MS-A100
●MS-A150
●MS-A200
●MS-A300
●MS-A200(密閉型)
●MS-A300(密閉型)
<最大対応サイズ>
4インチ
6インチ
8インチ
12インチ
100×100mm
150×150mm
 

貸し出し機種
貸出期間
貸出条件

: スピンコーター全機種
: 目安1週間
: 購入検討

◆ラボルームにて、テストワーク可能。エンジニアが操作及び内容等のサポートも致します。(無料)

 

・既存のお客様、装置検討の方   装置の操作説明
・エンジニアが操作及び内容等のサポートもします。
・秘密保持の為にお客様だけで使用していただくことも可能です。

ラボルーム
 

<貸し出し時間>

期間:半日~1日程度
9時~17時30分    ※その他ご相談ください

◆ワークテストを、弊社エンジニアが代行可能。サンプル、検査報告書等の提出も必要に応じて致します。(無料)

    <対応機種> <成果物>
  ・スピンコーター(塗布機) 全機種 サンプル提示
  ・ベーク・熱処理 ダイレクトホットプレート サンプル提示
  ・露光装置 MA-20、MA-60F サンプル提示
  ・現像 AD-1200 サンプル提示
  ・検査・測定 膜厚測定 F50 検査報告書提出
    線幅測定装置 MIM-L  
 

※ワークテスト期間    (ワーク到着後) 1日~1週間
※テスト内容や枚数によって期間が変動します
※内容によってはお受けできない場合もございますので、事前にご相談ください。

特徴5充実した修理・メンテナンス体制で、国内外をサポート。

◆国内外のサービスネットワーク
 ・国内2拠点 : 東京 〒105-0011 東京都港区芝公園2丁目8番1号  TEL:(03)3433-8216
          大阪 〒533-0033 大阪府大阪市東淀川区東中島1丁目13番55号  TEL:(06)6325-5661
 ・海外2拠点 : 中国(上海):牛尾貿易(上海)有限公司 (http://www.ushio.com.cn/)
          台湾(台北):川川企業有限公司 (網址: www.kawakawa.com.tw)

◆修理メンテナンス人員
 ・国内8名
 ・海外4名

 

◆技術 + サービス(代替機)

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