製品案内

マスクアライナー（露光装置）

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター（塗布機）からマスクアライナー（露光装置）、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。

φ6インチ基板対応モデル

最大基板サイズ			φ6インチ
最大基板厚			2mm
最大マスクサイズ			7×7インチ
UVランプハウス			インテグレータータイプ
照度			＞18mW/c㎡(at405nm)
照度均一性			＜±5.0％
露光光源			UVランプ250W（オプション500W仕様可）
露光波長			ブロードバンド(g・h・i線)
露光用タイマー			切り換え方式 0～999.9秒　タイマーセット式 1～9999カウント　積算光量カウンター式
UVランプ劣化補正機能			標準装備
アライメントスコープ			二視野顕微鏡　対物レンズ間隔18～60mm
顕微鏡解像度			1.2μm(対物レンズ20×使用時)
アライメントギャップ測長機能			標準装備
コンタクト方法			ソフトコンタクト/ハードコンタクト
マニプレーター移動範囲			X・Y±5mm　微動1/8mm1回転 θ:70°　微動±7° X・Y±20mm
十字動ステージ移動範囲			Z:4mm(空圧駆動分1mm/粗動3mm)　微動0.16mm
電源			AC100～110V　20A
ユーティリティ			エアー：マスクステージ用　0.5MPa N2：ブローアップ用　0.5MPa 真空：マスク及び基板吸着用　-0.08MPa
外形寸法(mm/除振台含む)			1130W×1650H×800D
重量			360kg
除振台			標準装備