フォトリソ工程の塗布~露光~現像・エッチング、検査まで、ラボ用半導体製造装置をワンストップで提供

修理・サポート

フォトリソグラフィ.com(ミカサ)では、修理メンテナンスの体制が国内外にネットワークがあり、技術サポートの充実を図っております。

メンテナンス体制とエリア

◆国内外のサービスネットワーク
 ・国内2拠点 : 東京 〒105-0011 東京都港区芝公園2丁目8番1号  TEL:(03)3433-8216
          大阪 〒533-0033 大阪府大阪市東淀川区東中島1丁目13番35号  TEL:(06)6325-5661
 ・海外2拠点 : 中国(上海):牛尾貿易(上海)有限公司 (http://www.ushio.com.cn/)
          台湾(台北):川川企業有限公司 (網址: www.kawakawa.com.tw)

◆修理メンテナンス人員
 ・国内8名
 ・海外4名

 

◆技術 + サービス(代替機)

エリア

◆スピンコーター(塗布機)に関しては、全機種代替機がございますので、修理中の実験・研究にも支障が出ません。

 

貸し出し機種
貸出期間
貸出条件

: スピンコーター全機種
: 目安1週間
: 修理の場合

サポート

スピンコーター

◆スピンコーターサポート終了機種一覧

MS-A100(製造№0701AA110001~1306AH110900) 3H-D2
MS-A150(製造№0701AA115001~1305BH115470) 1H-D2
MS-A200(製造№0701AA120001~1306AH120160) 1H-360
1H-D7 1H-300
1H-DX2 1H-700
1H-360S 1H-DS2
1H-700C 1H-DS
1H-DXⅡ 1H-5
1H-700B 8H-DS
1H-DX 3H-DS
1H-700A 3H-2
3H-D3 5H-3
1H-D3 5H-2

マスクアライナー

◆マスクアライナーサポート終了機種一覧

MA-10(製造年1998年以前) MA-8C SMAS(V-14)
MA-20(製造年1998年以前) M-400 6C
MA-60F(製造年1998年以前) M-2L  
M-2LF(製造年2003年以前) BS-5  
M-1S(製造年2003年以前) M-200S  
M-3LDF M-3LD  
M-7 BS-120  
MTV-350 BS-65  
BS-7 CMA-1  
MA-8P MA-V  

FAQ

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