修理・サポート

フォトリソグラフィ.com(ミカサ)では、修理メンテナンスの体制が国内外にネットワークがあり、技術サポートの充実を図っております。

メンテナンス体制とエリア

◆国内外のサービスネットワーク
 ・国内2拠点 : 東京 〒105-0011 東京都港区芝公園2丁目8番1号  TEL:(03)3433-8216
          大阪 〒533-0033 大阪府大阪市東淀川区東中島1丁目13番35号  TEL:(06)6325-5661
 ・海外2拠点 : 中国(上海):牛尾貿易(上海)有限公司 (http://www.ushio.com.cn/)
          台湾(台北):川川企業有限公司 (網址: www.kawakawa.com.tw)

◆修理メンテナンス人員
 ・国内8名
 ・海外4名

 

◆技術 + サービス(代替機)

エリア

◆スピンコーター(塗布機)に関しては、全機種代替機がございますので、修理中の実験・研究にも支障が出ません。

 

貸し出し機種
貸出期間
貸出条件

: スピンコーター全機種
: 目安1週間
: 修理の場合

サポート

スピンコーター

◆スピンコーターに関する重要なお知らせ

日頃は、弊社製品をご愛顧いただき、誠にありがとうございます。
さて、弊社では既に販売を終了しておりますスピンコーター1H-D7、1H-DX2、1H-360Sにつきまして、2015年9月末日をもって保守サポートを終了とさせていただきますので、ご案内いたします。
尚、後継機種として、「MS-B100、MS-B150、MS-B200」を販売しております。ご使用になられている試料台につきましては、キー交換により後継機でも使用が可能でございます。
詳しくはお気軽にお問い合わせください。

≪保守サポート終了対象機種≫

1H-D7
1H-DX2
1H-360S

◆スピンコーターサポート終了機種一覧

1H-700C 1H-300
1H-DXⅡ 1H-700
1H-700B 1H-DS2
1H-DX 1H-DS
1H-700A 1H-5
3H-D3 8H-DS
1H-D3 3H-DS
3H-D2 3H-2
1H-D2 5H-3
1H-360 5H-2

マスクアライナー

◆マスクアライナーサポート終了機種一覧

MA-10(製造年1998年以前) MA-8C SMAS(V-14)
MA-20(製造年1998年以前) M-400 6C
MA-60F(製造年1998年以前) M-2L  
M-2LF(製造年2003年以前) BS-5  
M-1S(製造年2003年以前) M-200S  
M-3LDF M-3LD  
M-7 BS-120  
MTV-350 BS-65  
BS-7 CMA-1  
MA-8P MA-V  
お問い合わせはお気軽に!フォトリソグラフィ.comを、ご覧頂きまして誠にありがとうございます。成膜・露光装置等のことなら「フォトリソグラフィ.com」にお任せ下さい!