製品案内
マスクアライナー（露光装置）
フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター（塗布機）からマスクアライナー（露光装置）、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。
| ●MA-20 | ●MA-10B | ●MA-60F | ●M-2LF | ●M-1S |
M-2LF
φ6インチ基板対応モデル
製品仕様
| 最大基板サイズ | φ6インチ | |||||
| 最大基板厚 | 2mm | |||||
| 最大マスクサイズ | 7×7インチ | |||||
| UVランプハウス | インテグレータータイプ | |||||
| 照度 | ＞18mW/c㎡(at405nm) | |||||
| 照度均一性 | ＜±5.0％ | |||||
| 露光光源 | UVランプ250W(オプション500W仕様可) | |||||
| 露光波長 | ブロードバンド(g・h・i線) | |||||
| 露光用タイマー | 0～999.9秒 タイマーセット式 | |||||
| UVランプ劣化補正機能 | 取付不可 | |||||
| アライメントスコープ | 二視野顕微鏡 対物レンズ間隔18～60mm | |||||
| 顕微鏡解像度 | 1.2μm(対物レンズ20×使用時) | |||||
| アライメントギャップ測長機能 | 取付不可 | |||||
| コンタクト方法 | ソフトコンタクト(ハードコンタクト/オプション) | |||||
| マニプレーター移動範囲 | X・Y±5mm 微動1/8mm1回転 | |||||
| θ:70° 微動±7° | ||||||
| Z:10mm 微動0.16mm | ||||||
| 十字動ステージ移動範囲 | オプション | |||||
| 電源 | AC100～110V 20A | |||||
| ユーティリティ | N2：ハードコンタクト取付時 0.5MPa | |||||
| 真空：マスク及び基板吸着用 -0.08MPa | ||||||
| 外形寸法(mm/除振台含む) | 1000W×1680H×800D | |||||
| 重量 | 280kg | |||||
| 除振台 | 標準装備 | |||||
※仕様は予告なく変更する事がございます。
技術資料 ／ FAQ
基板
UV光源
技術資料（各種動画）
