フォトリソ工程の塗布~露光~現像・エッチング、検査まで、ラボ用半導体製造装置をワンストップで提供

製品案内

マスクアライナー(露光装置)

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター(塗布機)からマスクアライナー(露光装置)、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅測定の各種測定機も取り扱っております。

MA-20 MA-10B MA-60F M-2LF M-1S

M-1S

φ3インチ基板対応モデル
M-1S

製品仕様

最大基板サイズφ3インチ
最大基板厚2mm
最大マスクサイズ4×4インチ
UVランプハウスコリメータータイプ
照度>8mW/c㎡(at405nm)
照度均一性<±8.5%
露光光源UVランプ250W
露光波長ブロードバンド(g・h・i線)
露光用タイマー0~999.9秒 タイマーセット式
UVランプ劣化補正機能取付不可
アライメントスコープ双眼実体顕微鏡(ズーム式)
アライメント精度3.7μm(ズーム比を1×に設定時)
アライメントギャップ測長機能取付不可
コンタクト方法ソフトコンタクト(ハードコンタクト/オプション)
マニプレーター移動範囲X・Y±5mm 微動1/8mm1回転
θ:70° 微動±7°
Z:3mm 微動0.16mm
十字動ステージ移動範囲取付不可
電源AC100~110V 20A
ユーティリティN2:ハードコンタクト取付時 0.5MPa
真空:マスク及び基板吸着用 -0.08MPa
外形寸法(mm)800W×730H×500D
重量100kg
除振台オプション

※仕様は予告なく変更する事がございます。

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