製品案内

マスクアライナー（露光装置）

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター（塗布機）からマスクアライナー（露光装置）、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。

φ3インチ基板対応モデル

最大基板サイズ	φ3インチ
最大基板厚	2mm
最大マスクサイズ	4×4インチ
UVランプハウス	コリメータータイプ
照度	＞8mW/c㎡(at405nm)
照度均一性	＜±8.5％
露光光源	UVランプ250W
露光波長	ブロードバンド(g・h・i線)
露光用タイマー	0～999.9秒　タイマーセット式
UVランプ劣化補正機能	取付不可
アライメントスコープ	双眼実体顕微鏡(ズーム式)
顕微鏡解像度	3.7μm(ズーム比を1×に設定時)
アライメントギャップ測長機能	取付不可
コンタクト方法	ソフトコンタクト(ハードコンタクト/オプション)
マニプレーター移動範囲	X・Y±5mm　微動1/8mm1回転 θ:70°　微動±7° Z:3mm　微動0.16mm
十字動ステージ移動範囲	取付不可
電源	AC100～110V　20A
ユーティリティ	N2：ハードコンタクト取付時　0.5MPa 真空：マスク及び基板吸着用　-0.08MPa
外形寸法(mm)	800W×730H×500D
重量	100kg
除振台	オプション