製品案内
スピンコーター(塗布機)
フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター(塗布機)からマスクアライナー(露光装置)、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。
<最大対応サイズ> | <最大対応サイズ> | |||||
4インチ 6インチ 8インチ 12インチ | ●MS-B100 ●MS-B150 ●MS-B200 ●MS-B300 | 100×100mm 150×150mm | ●MS-B200(密閉型) ●MS-B300(密閉型) | ●試料台(標準) ●試料台(特注) |
MS-B300密閉型
密閉式大型角基板専用モデル製品仕様
最大基板サイズ | 150×150mm基板 |
回転数(rpm) | 20~3,000 |
回転精度 | ±1rpm(負荷時) |
モーター | ACサーボモーター |
密閉用蓋 | アルミ/デルリン |
スピン室内径 | φ500mm |
ステップ・パターン数 | 100ステップ×10パターン |
時間設定 | 999.9sec |
セーフティーインターロック | 真空 標準装備 蓋 標準装備 |
滴下装置 | オプション(1アームまで取付可) |
使用真空圧 | -0.08~-0.1MPa |
ユーティリティ | エアー:0.3MPa(上部シリンダー用) |
電源 | AC200~240V 単相 5A |
外形寸法(mm) | 570W×590H×650D |
重量 | 65kg |
※仕様は予告なく変更する事がございます。
≪自動滴下装置取付例≫
膜厚分布データ
技術資料 / FAQ
基板
試料台(チャックホルダー)
オプション
修理
- スピンコーターが回転動作しなくなりました。電源はONになりプログラムを入力することも可能です。ただスタートボタンを押しても回転動作が始まらず、時間のカウントも始まりません。そして数秒後、終了の音が鳴ります。
- スピンコーターの電源をONにしても初期動作(1回転)せず、ビービーとエラー音が鳴って動作させることができません。
- 真空ポンプをONにするとスピンコーター本体の電源に関わらず真空が吸った状態になってしまいます。
- スピンコーターの回転などの表示部に【Oerr】とエラーメッセージが表示されます。どのようなエラーでしょうか?
- スピンコーターの回転などの表示部に【Serr】とエラーメッセージが表示されます。どのようなエラーでしょうか?
- スピンコート中に基板が頻繁に飛んでしまうのですが、どうしたら良いでしょうか?