フォトリソ工程の塗布~露光~現像・エッチング、検査まで、ラボ用半導体製造装置をワンストップで提供

製品案内

スピンコーター(塗布機)

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター(塗布機)からマスクアライナー(露光装置)、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。

     <最大対応サイズ>      <最大対応サイズ>  
4インチ
6インチ
8インチ
12インチ
MS-B100
MS-B150
MS-B200
MS-B300
 100×100mm
150×150mm
MS-B200(密閉型)
MS-B300(密閉型)
 ●試料台(標準)
●試料台(特注)

MS-B300密閉型

密閉式大型角基板専用モデル
MS-B300密閉型

製品仕様

最大基板サイズ150×150mm基板
回転数(rpm)20~3,000
回転精度±1rpm(負荷時)
モーターACサーボモーター
密閉用蓋アルミ/デルリン
スピン室内径φ500mm
ステップ・パターン数100ステップ×10パターン
時間設定999.9sec
セーフティーインターロック真空  標準装備
蓋   標準装備
滴下装置オプション(1アームまで取付可)
使用真空圧-0.08~-0.1MPa
ユーティリティエアー:0.3MPa(上部シリンダー用)
電源AC200~240V 単相 5A
外形寸法(mm)570W×590H×650D
重量65kg

※仕様は予告なく変更する事がございます。

自動滴下装置取付例 ≪自動滴下装置取付例≫

膜厚分布データ

膜厚分布データ

↑Click Zoom

MS-B300密閉型 膜厚分布±0.7%

膜厚分布データ

↑Click Zoom

MS-B300オープン型 膜厚分布±3.5%

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技術資料 / FAQ

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