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製品案内

検査・測定機 - 非接触膜厚測定機・段差計など

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター(塗布機)からマスクアライナー(露光装置)、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅測定の各種測定機も取り扱っております。

非接触膜厚測定機 F20
F40
F50
  段差計・プロファイラー ET200
ET4000A

段差計 ET4000A

ET4000A   ET4000A
型式ET4000A
最大サンプルサイズ 210mm×210mm 厚さ50mm(重さ2kg)
サンプルステージ ステージサイズ 220mm×220mm
傾斜調整範囲 ±1mm/150mm(X軸・Y軸)電動
検出器 センサ 差動トランス(直動式)
最大検出範囲 100μm
測定力 0.5μN~500μN(0.05mgf~50mgf)
分解能 0.1nm
触針先端 R2μm、R0.5μm 頂角60°ダイヤモンド
X軸 X軸 電動ステージ
駆動距離 100mm
真直度 0.1μm/100mm以下
位置決め再現性 ±5μm
Y軸 Y軸 電動ステージ
駆動距離 150mm(検出器位置前より100mm、奥50mm)
真直度 5μm/100mm
位置決め再現性 ±5μm
Z軸 Z軸 電動ステージ
上下動範囲 52mm
自動停止機能 有り(サンプルに自動でコンタクトし停止する)
段差測定の再現性 1σ 0.5nm(メーカー規格)
電源 AC100V 50/60Hz 300VA
測定部大きさ W680×D580×H660mm 約200kg

※仕様は予告なく変更することがございます。

<段差測定事例>
  ・金属膜 銅(Cu)
ガラス・硝子
アルミ(Al)
シリコン(Si)
チタン(Ti)
金(Au)
クローム(Cr)
ITO
銀(Ag)
  ・有機膜
  ・高分子ポリマー
  ・反射防止膜

 

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