製品案内
検査・測定機 － 非接触膜厚測定機・段差計など
フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター（塗布機）からマスクアライナー（露光装置）、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。
| 非接触膜厚測定機 | 段差計・プロファイラー | コンフォーカル顕微鏡 | ||
| ●OPTM series ●ファイバー式膜厚モニタ | ●ET200A ●ET200A-D ●ET200A-3D ●ET4000A ●ET4000AK | ●OPTELICS HYBRID C3 ●OPTELICS HYBRID L3 ●OPTELICS HYBRID L7 |
段差計 ET4000A、ET4000AK
 |  |
| 型式 | ET4000A | ET4000AK | |
|---|---|---|---|
| 最大サンプルサイズ | 210mm×210mm 厚さ50mm（重さ2kg） | ||
| サンプルステージ | ステージサイズ | 220mm×220mm | |
| 傾斜調整範囲 | ±1mm/150mm（X軸・Y軸）電動 | ||
| 検出器 | センサ | 差動トランス（直動式） | |
| 最大検出範囲 | 100μm | ||
| 測定力 | 0.5μN～500μN（0.05mgf～50mgf） | ||
| 分解能 | 0.1nm | ||
| 触針先端 | R2μm、R0.5μm 頂角60°ダイヤモンド | ||
| Ｘ軸 | Ｘ軸 | 電動ステージ | |
| 駆動距離 | 100mm | ||
| 真直度 | 0.1μm/100mm以下 | ||
| 位置決め再現性 | ±5μm | ||
| Ｙ軸 | Ｙ軸 | 電動ステージ | |
| 駆動距離 | 150mm（検出器位置前より100mm、奥50mm） | ||
| 真直度 | 5μm/100mm | ||
| 位置決め再現性 | ±5μm | ||
| Ｚ軸 | Ｚ軸 | 電動ステージ | |
| 上下動範囲 | 52mm | ||
| 自動停止機能 | 有り（サンプルに自動でコンタクトし停止する） | ||
| 段差測定の再現性 | 1σ 0.5nm（メーカー規格） | ||
| 電源 | AC100V 50/60Hz 300VA | ||
| 測定部大きさ | W680×D580×H660mm 約200kg | ||
| 三次元粗さ測定機能 | オプション | 標準装備 | |
※仕様は予告なく変更することがございます。
■オプション
| 防振台 テーブル型 | ETV-8 | W815ｘD74５ｘH750 約250Kg |
|---|
| スタイラス | 仕様 | |
|---|---|---|
| 型式 | 先端半径 先端角 | 材質 |
| ET-1479 | R2μm 60° | ダイヤモンド |
| ET-1480 | R0.5μm 60° | ダイヤモンド |
| ET-1507 | R5μm 60° | ダイヤモンド |
| ET-1609 | R0.1μm 60° | ダイヤモンド |
| ET-1610 | R0.2μm 60° | ダイヤモンド |
| ET-1725 | R10μm 60° | ダイヤモンド |
| ET-1726 | R30μm 60° | ダイヤモンド |
| ET-2065 | R800μm 60° | ルビー |
| ET-2140 | R20μm 60° | ダイヤモンド |
| ET-2167 | R1μm 30° | 超鋼 |
| ET-2211 | R2μm 30° | 超鋼 |
| ＜段差測定事例＞ | ||
| ・金属膜 | 銅（Cu) ガラス・硝子 アルミ（Al） シリコン（Si) チタン（Ti） 金（Au) クローム（Cr） ITO 銀（Ag) | |
| ・有機膜 | ||
| ・高分子ポリマー | ||
| ・反射防止膜 | ||
