製品案内
検査・測定機 － 非接触膜厚測定機・段差計など
フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター（塗布機）からマスクアライナー（露光装置）、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。
| 非接触膜厚測定機 | 段差計・プロファイラー | コンフォーカル顕微鏡 | ||
| ●OPTM series ●ファイバー式膜厚モニタ | ●ET200A ●ET200A-D ●ET200A-3D ●ET4000A ●ET4000AK | ●OPTELICS HYBRID C3 ●OPTELICS HYBRID L3 ●OPTELICS HYBRID L7 |
段差計 ET200A、ET200A-D、ET200A-3D
 |  |
| 型式 | ET200A | ET200A-D | ET200A-3D | |
|---|---|---|---|---|
| 最大サンプルサイズ | 160mmφ×厚さ52mm | |||
| サンプルステージ | ステージサイズ | φ160mm | ||
| 傾斜調整範囲 | ±2°（X・Y軸）手動 | |||
| 検出器 | センサ | 差動トランス（直動式） | ||
| 最大検出範囲 | 600μm | |||
| 測定力 | 10μN～500μN（1mgf～50mgf） | |||
| 分解能 | 0.1nm | |||
| 触針先端 | R2μm 頂角60°ダイヤモンド | |||
| Ｘ軸 | Ｘ軸 | 電動 | ||
| 駆動距離 | 100mm | |||
| 真直度 | 0.2μm/100mm以下 | |||
| 位置決め再現性 | ±5μm（ティーチング位置決め時） | |||
| Ｙ軸 | Ｙ軸 | 手動（マイクロメータ） | 電動 | |
| 駆動距離 | 25mm（±12.5mm） | 25mm（±12.5mm） | ||
| 位置決め分解能 | – | 1μm | ||
| 位置決め再現性 | – | ±5μm（ティーチング位置決め時） | ||
| Ｚ軸 | Ｚ軸 | 電動 | ||
| 上下動範囲 | 54mm | |||
| 自動停止機能 | 有り（サンプルに自動でコンタクトし停止する） | |||
| θ軸 | 手動 粗動360° 微動±５° | |||
| 段差測定の再現性 | 1σ 0.3nm以内（メーカー規格） | |||
| 電源 | AC100～240V 50/60Hz 200VA | |||
| 測定部大きさ | W500×D460×H610mm 約120kg | |||
| 三次元粗さ測定機能 | なし | オプション | 標準装備 | |
※仕様は予告なく変更することがございます。
■オプション
| 防振台 テーブル型 | ETV-7A | W815ｘD745ｘH750 約320Kg |
|---|---|---|
| 防振台 卓上型 | ETV-12 | W500ｘD400ｘH80 約10Kg |
| 低測定力タイプ検出器 | 測定力 0.5μN～500μN（0.05mgf～50mgf） 測定レンジ 100μm | |
| PC モニター | Windows10 Pro 64bit 19インチLCD | |
| ＜段差測定事例＞ | ||
| ・金属膜 | 銅（Cu) ガラス・硝子 アルミ（Al） シリコン（Si) チタン（Ti） 金（Au) クローム（Cr） ITO 銀（Ag) | |
| ・有機膜 | ||
| ・高分子ポリマー | ||
| ・反射防止膜 | ||
