製品案内

スピンコーター(塗布機)

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター(塗布機)からマスクアライナー(露光装置)、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅測定の各種測定機も取り扱っております。

     <最大対応サイズ>        <最大対応サイズ>    
4インチ
6インチ
8インチ
12インチ
MS-B100
MS-B150
MS-B200
MS-B300
  100×100mm
150×150mm
MS-B200(密閉型)
MS-B300(密閉型)
  ●試料台(標準)
●試料台(特注)

MS-B150

φ6インチウエハー・100×100mm基板対応モデル
MS-B150

製品仕様

最大基板サイズφ6インチウエハー又は100×100㎜基板
回転数(rpm)20~7,000
回転精度±1rpm(負荷時)
モーターACサーボモーター
アクリル
スピン室内径φ290mm
ステップ・パターン数100ステップ×10パターン
時間設定999.9sec
セーフティーインターロック真空  標準装備
蓋    オプション
滴下装置オプション
使用真空圧-0.08~-0.1MPa
電源AC100~240V 5A
外形寸法(mm)352W×303H×432D
重量16kg

※仕様は予告なく変更する事がございます。

膜厚分布データ

膜厚分布データ

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使用機種MS-B150
膜厚測定装置FILMETRICS製 F50
レジストOFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズφ6インチシリコンウエハー
ターゲット膜厚1μm
膜厚分布±0.6%
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