フォトリソ工程の塗布~露光~現像・エッチング、検査まで、ラボ用半導体製造装置をワンストップで提供

製品案内

スピンコーター(塗布機)

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター(塗布機)からマスクアライナー(露光装置)、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅測定の各種測定機も取り扱っております。

     <最大対応サイズ>        <最大対応サイズ>    
4インチ
6インチ
8インチ
12インチ
MS-B100
MS-B150
MS-B200
MS-B300
  100×100mm
150×150mm
MS-B200(密閉型)
MS-B300(密閉型)
  ●試料台(標準)
●試料台(特注)

MS-B300

φ12インチウエハー・200×200mm基板対応モデル
MS-B300
MS-B300

製品仕様

最大基板サイズφ12インチウエハー又は200×200mm基板
回転数(rpm)20~5,000
回転精度±1rpm(負荷時)
モーターACサーボモーター
ポリカーボネート
スピン室内径φ500mm
ステップ・パターン数100ステップ×10パターン
時間設定999.9sec
セーフティーインターロック真空  標準装備
蓋    標準装備
滴下装置オプション(2アームまで取付可)
使用真空圧-0.08~-0.1MPa
電源AC200~240V 単層 5A
外形寸法(mm)545W×432H×654D
重量55kg
オプションセンタリング治具

※仕様は予告なく変更する事がございます。

膜厚分布データ

膜厚分布データ

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使用機種MS-B300
膜厚測定装置FILMETRICS製 F50
レジストOFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズφ12インチシリコンウエハー
ターゲット膜厚1μm
膜厚分布±0.8%
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