製品案内
現像・エッチング装置
フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター（塗布機）からマスクアライナー（露光装置）、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅・形状測定の各種測定機も取り扱っております。
| フォトリソ用現像装置 | ●AD-1200 ●AD-3000 | フォトリソ用エッチング装置 | ●ED-1200 ●ED-3000 |
フォトリソ用エッチング装置 ED-3000
エッチング装置
製品特徴
- 大型基板対応ツインスイングノズルスプレー式（ウェット）
- 耐薬品を考慮し接液部にPVC(塩ビ)を使用
- 液晶タッチパネルにてプログラム簡単入力
- 薬液2系統又は3系統増設可能
- エッチング、リンス、振り切りを連続処理
- 薬液供給は加圧タンク圧送式
製品仕様
| チャンバー | PVC(塩ビ)製 | |||||
| 基板サイズ | φ1インチ～φ12インチ(220×220mm) | |||||
| 薬液圧送 | 加圧タンク圧送式 | |||||
| 薬液吐出 | スプレー吐出(スイングノズル式) | |||||
| ステップ数 | 48ステップ(スキップ・コピー機能付) | |||||
| プログラムモード | 10モード | |||||
| プロセス(標準) | エッチング液:1系統(2ノズル) リンス:1系統(2ノズル) バックリンス:1系統 | |||||
| 使用薬液 | 酸系エッチング液 | |||||
| 回転数 | 0～3,000rpm | |||||
| インターロック | 真空吸着確認センサー 処理室カバーインターロック ノズル移動オーバーランリミッター | |||||
| 電源 | AC200V 3相 15A | |||||
| ユーティリティ | N2：0.6MPa | |||||
| 寸法(mm/ドア開放時) | 720W×500H(910H)×520D | |||||
| 重量 | 60kg | |||||
| 主要オプション | 薬液温度管理システム(加圧方式) 各種基板ホルダー 設置用作業台 PTFE(テフロン)製チャンバー | |||||
※仕様は予告なく変更する事がございます。
