製品案内

現像・エッチング装置

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター(塗布機)からマスクアライナー(露光装置)、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅測定の各種測定機も取り扱っております。

フォトリソ用現像装置 AD-1200
AD-3000
フォトリソ用エッチング装置
ED-1200
ED-3000

フォトリソ用エッチング装置 ED-3000

エッチング装置
フォトリソ用エッチング装置 ED-3000

製品特徴

  • 大型基板対応ツインスイングノズルスプレー式(ウェット)
  • 耐薬品を考慮し接液部にPVC(塩ビ)を使用
  • 液晶タッチパネルにてプログラム簡単入力
  • 薬液2系統又は3系統増設可能
  • エッチング、リンス、振り切りを連続処理
  • 薬液供給は加圧タンク圧送式

製品仕様

チャンバーPVC(塩ビ)製
基板サイズφ1インチ~φ12インチ(220×220mm)
薬液圧送加圧タンク圧送式
薬液吐出スプレー吐出(スイングノズル式)
ステップ数48ステップ(スキップ・コピー機能付)
プログラムモード10モード
プロセス(標準)エッチング液:1系統(2ノズル)
リンス:1系統(2ノズル)
バックリンス:1系統
使用薬液酸系エッチング液
回転数0~3,000rpm
インターロック真空吸着確認センサー
処理室カバーインターロック
ノズル移動オーバーランリミッター
電源AC200V 3相 15A
ユーティリティN2:0.6MPa
寸法(mm/ドア開放時)720W×500H(910H)×520D
重量60kg
主要オプション薬液温度管理システム(加圧方式)
各種基板ホルダー
設置用作業台
PTFE(テフロン)製チャンバー

※仕様は予告なく変更する事がございます。

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