スピンコート・塗布・成膜の困りごと・要望解決

ミカサ・スピンコーター.comでは、塗布・成膜の困りごとの解決を致します。代表的な困りごとは以下の通りですが、それ以外のさまざまなお客様の困りごとへの対応はメール、電話にお問合せください。

角基板へ隅まで均一に塗布したい。
角基板の膜厚分布を良くしたい。
角基板のコーナーが盛り上がりを解消したい。

＜解決策＞

密閉型スピンコーターをご使用していただくことをお勧めします。
また、簡易密閉試料台の使用をお勧めします。

≫ 密閉式大型角基板専用モデル

MS-B300（密閉型）