スピンコーター・塗布機　基板/塗布材

ミカサ・スピンコーター.com（ミカサ）のスピンコーター（塗布機）において使用されている主な基板/塗布材を紹介致します。

＜塗布材＞	●感光材	光触媒材料
		高分子・ポリマー
		ITO/IGZO
		SU-8	｜日本化薬
		UVレジン（紫外線硬化樹脂）
		ポリイミド
		顔料
		フォトレジスト（OFPR）	｜東京応化
		フォトレジスト（AZ）	｜メルク・ジャパン（旧 AZマテリアル）
		フォトレジスト（resist）
		EUVレジスト
		有機顔料　※グローブボックス内での使用
		有機材料　※グローブボックス内での使用
		有機半導体材料　※グローブボックス内での使用
		BM（ブラックマトリクス）
	●コーティング	コーティング材料
		ゴム
		たんぱく質
		フィルム材料
		ワックス
		接着剤
		熱硬化樹脂
		反射防止膜
		保護膜
		無機　防汚・防曇コーテｨング材
	●その他	Na・Mg
		エタノール混合液
		カーボン
		グラフェン
		その他　樹脂
		トルエン・キシレン
		有機EL（OLED）材料
		リン（P）を含む塗布液
		添加剤
＜基板＞	●材質	シリコン
		サファイア	＜PSS（パターンドサファイアストレート）＞
		ダイヤモンド
		ガラス・硝子
		セラミックス
		フィルム