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技術資料　／　FAQ

技術資料（SEM画像）

マスクアライナーSEM画像　MA-60F

【薄膜L＆S】

薄膜L＆S

【厚膜角ホール】

厚膜角ホール

線幅	2μm(L＆S)
レジスト	OFPR-800LB (東京応化製)
膜厚	1μm

線幅	6μm(角ホール)
レジスト	e-PR THICK (e-chem japan製)
膜厚	6.2μm

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