技術資料 ／ FAQ
製品： マスクアライナー
マスクアライナーで必要になるユーティリティは何ですか？
電源はAC100V 20A マスク、基板固定用に真空が-0.08Mpa必要です。また、MA-10、MA-20、MA-60Fは顕微鏡、マスクステージ駆動に空圧0.5Mpa、N2ブローアップ用にN2 0.5Mpaが必要です。
タグ: マスクアライナー
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電源はAC100V 20A マスク、基板固定用に真空が-0.08Mpa必要です。また、MA-10、MA-20、MA-60Fは顕微鏡、マスクステージ駆動に空圧0.5Mpa、N2ブローアップ用にN2 0.5Mpaが必要です。
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