技術資料 / FAQ

UV光源

マスクアライナーのアライメント精度はどのくらいですか?

 

マニュアルのアライメントのため保証値ではございませんが、弊社のマスクアライナーのアライメント精度は、1.2μmになります。顕微鏡対物レンズ20倍の分解が1.2μmで解像出来、マイクロの送りが1μmで合わせる事が出来ます。

 

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