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技術資料 / FAQ

UV光源

プロキシミティ露光は可能ですか?

 

ギャップ試料台を用いれば対応可能です。但し、ギャップ値につきましては制限がございますので、詳細は別途ご相談下さい。

 

キャップ試料台

【特徴】

■プロキシミティ露光が可能です
■ピンによって物理的にギャップ設定を行います
※ギャップ範囲高さ10μm~200μmで製作可能です
※10μm間隔で設定できます
※ピンの精度は±5μm
(30μm以下のギャップの場合、基板厚み公差によってはMaskに接触してしまう可能性があります)
■Maskにコンタクトさせたくない露光に最適です
※SU-8での各種実験SEM画像用意しております
■既にお持ちの装置にオプションとして導入いただけます

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