技術資料 ／ FAQ
UV光源
御社のマスクアライナーはプロキシミティ露光は可能ですか？
ギャップ試料台を用いれば対応可能です。但し、ギャップ値につきましては制限がございますので、詳細は別途ご相談下さい。
キャップ試料台
【特徴】
■プロキシミティ露光が可能です
■ピンによって物理的にギャップ設定を行います
※ギャップ範囲高さ10μm～200μmで製作可能です
※10μm間隔で設定できます
※ピンの精度は±5μm
（30μm以下のギャップの場合、基板厚み公差によってはMaskに接触してしまう可能性があります）
■Maskにコンタクトさせたくない露光に最適です
※SU-8での各種実験SEM画像用意しております
■既にお持ちの装置にオプションとして導入いただけます
