スピンコーター

対応しておりません。

対応しておりません。

電磁弁内のOリングが劣化しているかOリング周りに付着物があり弁が閉じられない状態にある可能性がございます。

内部のモーターシャフト部に塗布液が付着して、それが抵抗となって初期動作が出来ないためのエラーとなっている可能性がございます。最終的な解決方法はモーターの交換となります。

真空ラインに何らかの問題があります。原則預かり修理対応となりますが、真空シール材(オイルシール)をお持ちであればオイルシール交換手順書を参照の上、交換作業を行ってください。交換しても吸着力が回復しない場合は、ご相談ください。
オイルシール交換手順書のダウンロードはこちら。

真空ポンプは必要ですが、工場の真空ラインから接続が可能な場合は、真空ポンプを使用しなくても大丈夫です。また、メカニカルチャック式の場合は必要ありませんが、その場合バキュームインターロック機能が使用できなくなります。詳しくはお問い合わせ下さい。

本体・真空ポンプ共に100V及び機種により200Vが必要です。またオプションの滴下装置を取り付けた場合はドライエアーとN2(窒素）が必要です。

装置自体は回転時間と回転数を制御するもので、

薄膜（数十nm）から厚膜（数百μm）までを想定しております。

塗布液の粘度にも依存します。

詳しくはお問い合わせください。

基本は、軸部分がPOM製、吸着面がアルミ製です。

その他POM製やテフロン製もございます。

他の材質【ステンレス製・PEEK製・塩ビ製】に、つきましてもお気軽にご相談ください。

その他FAQ　試料台(チャックホルダー)

• 標準的な試料台（チャックホルダー）などはありますか？納期はどれくらいですか？
• スピンコーターで使用可能な角(□)や丸(Φ)以外の形状の基板に対応できる試料台(チャックホルダー)には、どのような種類がありますか？
• スピンコーター用試料台(チャックホルダー)で、基板の固定方法にはどのような方式がありますか。
• スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質にはどのような種類がありますか？
• スピンコーター用試料台(チャックホルダー)は全ての機種で互換性がありますか。
• 試料台(チャックホルダー)の材質の違いによるメリットとデメリットは何ですか？
• スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質の選び方

基本は真空吸着方式です。

吸着方法にも溝式と小穴式がございます。基板の形や厚み、膜厚などの情報を基にご提案をしております。

メカニカルチャック方式も対応可能ですが、その場合バキュームインターロック機能が使用できなくなります。

他、中心部を吸着しない外周吸着方式、Oリング吸着方式などご希望・用途に合わせてご提案しております。

詳しくは、試料台のページへ　>>

その他FAQ　試料台(チャックホルダー)

• 標準的な試料台（チャックホルダー）などはありますか？納期はどれくらいですか？
• スピンコーターで使用可能な角(□)や丸(Φ)以外の形状の基板に対応できる試料台(チャックホルダー)には、どのような種類がありますか？
• スピンコーター用試料台(チャックホルダー)で、基板の固定方法にはどのような方式がありますか。
• スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質にはどのような種類がありますか？
• スピンコーター用試料台(チャックホルダー)は全ての機種で互換性がありますか。
• 試料台(チャックホルダー)の材質の違いによるメリットとデメリットは何ですか？
• スピンコーター用試料台(チャックホルダー)の材質の選び方