装置自体は回転時間と回転数を保証するもので、膜厚分布の保証はしておりません。
スピンコーター
膜厚分布の保証値を教えてください
2014年11月14日 金曜日スピンコーターのチャンバー内の雰囲気制御はできますか？
2014年11月14日 金曜日対応しておりません。
排気はできますか？
2014年11月14日 金曜日こちらをご参照ください。オプション/特注仕様はこちら。
自動搬送機タイプは有りますか？
2014年11月14日 金曜日対応しておりません。
どんなオプションがありますか？
2014年11月14日 金曜日こちらをご参照ください。オプション/特注仕様はこちら。
加圧タンクのテフロンコートは可能ですか？
2014年11月14日 金曜日オプションとしてご用意しております。
滴下装置にシリンジを取り付けることは可能ですか？
2014年11月14日 金曜日オプションとしてご用意しております。
エッジリンス、バックリンスはできますか？
2014年11月14日 金曜日ディスペンサーの流量調整はできますか？
2014年11月14日 金曜日圧力と絞りで調整可能ですが数値入力での管理はできません
滴下装置は有りますか？
2014年11月14日 金曜日オプションとして滴下装置のご用意がございます。滴下動作の動画はこちら。
